- 新舊程度:全新
- 企業(yè)類型:制造商
- 質量數(shù)量范圍:2~255amu
- 分辨率:0.6~0.8 amu
- 質量軸穩(wěn)定性:≤O.05amu/24h
- 穩(wěn)定性RSD:短期≤2%;長期≤3%
- 檢出限:Be≤5; In≤0.5; U≤O.5 單位(ng/L)
- 氧化物離子:CeO+/Ce+≤3%
ICPMS2000 高純石英砂中雜質元素質譜分析儀
ICPMS2000 高純石英砂中雜質元素質譜分析儀是20世紀80年代發(fā)展起來的一種新的微量(10-6)、痕量(10-9)和 chao 痕量(10-12)元素分析技術。可測定元素周期表中大部分元素, ji 低的檢出限、 ji 寬的動態(tài)線性范圍、譜線簡單、干擾少、 jing 密度高、分析速度快、可提供同位素分析。
石英玻璃,被業(yè)內譽為“玻璃王”,是采用二氧化硅制造而成的特殊玻璃。具有優(yōu) xiu 的物理化學性能,如透光性高、耐高溫、膨脹系數(shù)低、電絕緣性能高等,常被制作成石英玻璃管材、石英坩堝等產(chǎn)品,這些產(chǎn)品可用于半導體、光纖通信、電子冶金等 ling 域。高純石英砂,作為石英玻璃原料,其純度對玻璃性能具有至關重要的影響。石英砂中不同雜質元素對性能影響不同:如鉀、鈉等堿離子容易造成析晶現(xiàn)象,適量鈦元素則有助于降低膨脹系數(shù)。針對不同的用途,石英砂中雜質元素的限量要求也有所不同。為適應檢測要求, guo 家硅材料深加工產(chǎn)品質量 jian 督檢驗中心等單位起草的《GB/T 32650-2016電感耦合等離子體質譜法檢測石英砂中痕量元素》正式發(fā)布并實施。
石英砂中雜質元素限值(單位:μg/g)

部分元素在冷焰模式下性能參數(shù)
冷焰模式下,繪制各元素0,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0μg/L系列濃度標液工作曲線,39K、40Ca、56Fe等同位素的線性相關系數(shù)r均大于0.999,背景等效濃度為0.0023μg/L~0.0217μg/L。

冷焰模式下同位素的背景等效濃度(單位ng/L)



冷焰模式下同位素標準曲線譜圖
ICP-MS2000測定高純石英砂中雜質元素
參考《GB/T 32650-2016 電感耦合等離子體質譜法檢測石英砂中痕量元素》進行樣品前處理。利用冷焰模式及標準模式對樣品進行測試,考察背景等效濃度(BEC)、方法檢出限(D.L.)、加標回收率、 jing 密度。背景等效濃度在0.6ng/L~60.0ng/L之間,方法檢出限在0.3ng/L~88.2ng/L之間,加標回收率在82.1%~120.4%之間, jing 密度在1.41%~6.92%之間。

備注:CP表示冷焰模式,HP表示標準模式。
結論
采用ICP-MS 2000測定高純石英砂中13種雜質元素,背景等效濃度在0.6ng/L~60.0ng/L之間,方法檢出限在0.3ng/L~88.2ng/L之間,加標回收率在82.1%~120.4%之間, jing 密度在1.41%~6.92%之間,man 足石英玻璃行業(yè)高純石英砂的測試要求。同時該方法也適用于光伏玻璃、高純二氧化硅、氣相二氧化硅等材料中雜質元素的分析測試。





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