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• 誤差補償

使用標準數據處理器AE700

使用高性能數據處理器AE950

He-Ne激光平均波長：

632.8 nm

632.8 nm

激光穩頻：

一小時2x10^-9（±0.002ppm）

壽命內2x10^-8（±0.02ppm）

一小時2x10^-9（±0.002ppm）

壽命內2x10^-8（±0.02ppm）

系統（0-40℃時）：

±0.4ppm

±0.4ppm

光束直徑：

6mm (可選3.2mm)

6mm (可選3.2mm)

激光管突發輸出功率：

1mW (激光等級2)

1mW (激光等級2)

每束光可測量的軸數：

1，可選多6個

1，可選多6個

線性測量距離：

40m，可擴展為120m

40m，可擴展為120m

角度測量范圍：

± 15°，20m行程

± 15°，20m行程

平面度測量范圍：

20m行程

20m行程

直線度測量范圍：

± 5mm，2m或10m行程，

選用角度干涉儀可測30m行程

± 5mm，2m或10m行程，

選用角度干涉儀可測30m行程

垂直度測量范圍：

± 5mm，2m或10m行程，

30m行程需用角度干涉儀

± 5mm，2m或10m行程，

30m行程需用角度干涉儀

速度：

4m/s，可選16m/s

320rad/s 角速度

1m/s，平移量

80rad/s，角速度

加速：

無限制

無限制

采樣頻率：

內部1MHz，外部40MHz

內部1MHz，外部40MHz

預熱時間：

12分鐘

12分鐘

/非線性：

±1.25nm (角隅反射鏡)

±0.62nm (平面反射鏡)

±0.3nm (角隅反射鏡)

±0.1nm (平面反射鏡)

距離測量分辨率：

2.5nm (角隅反射鏡)

1.25nm (平面反射鏡)

0.6nm (角隅反射鏡)

0.3nm (平面反射鏡)

0.1nm 可選

距離測量：

(20°± 0.5°) 使用AUK時

(20°± 0.5°) 真空中時

±0.4ppm (μ/m)

±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)

±0.4ppm (μ/m)

±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)

線性度測量分辨率：

2.5nm (角隅反射鏡)

1.25nm (平面反射鏡)

0.62nm可選

0.6nm (角隅反射鏡)

0.3nm (平面反射鏡)

0.1nm 可選

線性度測量：

(20°± 0.5°) 使用AUK時

(20°± 0.5°) 真空中時

±0.4ppm (μ/m)

±0.08 (±0.02)ppm (μ/m

±0.4ppm (μ/m)

±0.08 (±0.02)ppm (μ/m

速度測量：

±0.5ppm實測值

±0.5ppm實測值

角度測量分辨率：

0.062μrad (12x10^-3 角秒)

0.015μrad (3x10^-3 角秒)

角度測量：

±0.1ppm實測值

±0.1ppm實測值

平面度測量分辨率：

0.062μrad (12x10^-3 角秒)

0.015μrad (3x10^-3 角秒)

平面度測量：

±0.2%實測值

±0.05弧度/米行程

±0.2%實測值

±0.05 弧度/米行程

直線度測量分辨率：

145nm，10m行程

29nm，2m行程

36nm，10m行程

7.25nm，2m行程

直線度測量：

±0.5%實測值，2m行程

± 2.5%實測值，10m行程

±0.5%實測值，2m行程

± 2.5%實測值，10m行程

垂直度測量分辨率：

145nm，10m行程

29nm，2m行程

36nm，10m行程

7.25nm，2m行程

垂直度測量：

±0.5%實測值2m，± 0.5角秒*

±2.5%實測值10m，± 0.5角秒*

±0.5%實測值2m，± 0.5角秒*

±2.5%實測值10m，± 0.5角秒*

數據接口：

積分信號
32 Bit (實時時間)
Dt ? 20 ns

積分信號
32 Bit (實時時間)
Dt ? 20 ns

數據分析標準：

ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA

ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA

工作環境：

溫度：15°C-30°C

濕度： <90%無冷凝

溫度：15°C-30°C

濕度：<90%無冷凝

儲存環境：

溫度：10°C-40°C

濕度：<95%無冷凝

溫度：10°C-40°C

濕度：<95%無冷凝