| 類型 | 白光干涉儀 | 品牌 | SNU |
| 型號 | SIS 2000 | 品種 | 其他干涉儀 |
| 測量范圍 | 200×200×100（mm） | 測量分辨率 | 0.1nm |
| 用途 | TFT產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體、MEMS、高校科研、精密加工 |
| 品牌： | SNU | 型號： | SIS 2000 | 操作方式： | 自動 |
| 功能： | 檢測、觀察、分析 | ： | 1nm | ||
| 其它型號： | SIS 1200 | ||||
2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4、納米級分辨率：垂直分辨率可以0.1nm。
5、數(shù)字信號處理器：實現(xiàn)測量需要幾秒鐘。
6、掃描儀：采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺：氣動裝置、震、壓。
8、測量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面，強大而快速的運算。
技術(shù)參數(shù)
機型 | SIS 2000 | |
工作臺 | 尺寸 | 350mm×350mm |
傾斜度 | &plun;3° | |
測量行程 | X:200mm Y:200mm | |
Z軸行程 | 100mm | |
運動方式 | 自動，馬達驅(qū)動 | |
掃描速度 | 30μm/sec | |
垂直分辨率 | 0.1nm | |
CCD | 黑白CCD，640×480像素 | |
物鏡安裝架 | 手動5個位移的可定位夾具 | |
鏡頭選配 | 鏡頭：5×、10×、20×、50× | |
2、半導(dǎo)體
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工