| 特點 | |
| 帶有氣體采樣流量自動控制功能 |
| LCD顯示，現場狀態一目了然 |
| 實現小型、輕量化 | |
| 可簡單地更換傳感器和采樣氣路 |
| 帶有傳感器單元錯誤的功能 |
| 可以設定多樣的維護模式 |
| 組合對應熱分解單元與定電位電解式傳感器，能檢測NF3等 |
| 實現了用PDA讀取數據 |
| 合CE規格，SEMI規格 |
| 型號 | PS-7 |
| 檢測原理 | 定電位電解式、熱絲型半導體式、隔膜電流電池式 |
| 熱分解+定電位電解式 |
| 采樣方式 | 泵吸引式（0.5L/min吸引流量自動控制） |
| 采樣配管 | 特氟隆外徑6內徑4mm、配管距離在20m以內 |
| 氣體濃度顯示 | 液晶數字四位顯示（附帶單位）20分割條形圖 |
| 報警接點 | 氣體報警（1段以及二級）報警、紅色液晶指示燈閃爍、液晶畫面段ALARM1段ALARM1 ALARM2顯示 |
| 流量降低報警堵塞指示顯示：流量顯示為低速運轉報警：黃色LED指示燈閃爍：液晶畫面FLOW顯示以及流量顯示為停止運轉狀態 |
| 傳感器故障報警/傳感器誤報警報警：黃色LED指示燈閃爍：液晶畫面SENS.顯示•熱分解爐斷線報警報警：黃色LED指示燈閃爍：液晶畫面CONV.顯示 |
| 外部輸出 | 氣體濃度模擬輸出D~20mA（與電源的負通用）氣體報警接點（1段以及兩）1a無電壓接點/自動復位故障報警接點（開路集電/自動復位） |
| 適合電纜線 | 控制用屏幕電纜線（Φ8~11mm）x2 3芯或者4芯使用溫度濕度范圍0℃~40℃（但是不能有劇烈的溫度變化）、30~85%RH（但不能結露） |
| 使用電源 | DC24V&plun;10% |
| 消耗電力 | 約7w |
| 尺寸 | W62xH124xD143mm(除去突起物) |
| W62xH124xD143mm(除去選購件和突起物) |
| 重量 | 約1.0kg |
| 安裝方法 | 壁掛式 |
