FX型系列分子泵機組是分子泵,前級機械泵，隔斷放氣閥，前級管路、分子泵電源，控制電源等組裝于機架而成的清潔超高真空獲得設備。安裝方便，操作簡單，易于聯(lián)接，性能可靠，可廣泛用于表面分析，加速器技術，半導體設備，等離子體技術，電真空器件的制造及真空技術各領域。
FX分子泵機組技術性能:
產品型號 FX-110 FX-620
進氣口法蘭 DN100LF/DN100CF DN160LF/DN160CF
抽氣速率L/S（對空氣） ＞110 ＞600
壓縮比??? N2
????????? H2 ＞108
5×102 ＞109
6×103
極限壓強（Pa） 6×10-6/6×10-7 6×10-6/6×10-7
排氣口法蘭 KF25 KF40
使用軸承 精密機械軸承 精密軸承
輸入電壓頻率（V/Hz） 220±20/50 380±20/50
環(huán)境溫度（℃） 0～40 0～40
前級泵型號 TRP-4 TRP-6
啟動時間（min） ＜3 ＜5
額定工作轉數(shù)（rpm） 42，300 27，000
冷卻方式 水冷可風冷 水冷
安裝方式 任意 任意
重量（公斤） 52 -
長×寬×高 500×510×685 -
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