產(chǎn)品簡介：
FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用美國流量傳感芯片來研發(fā)制作，適用于各類清潔、干燥氣體。獨特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現(xiàn)對傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。
產(chǎn)品特點：
? 傳感器靈敏度高，有極小的始動流量
? 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高計量
? 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高
? 貼壁式安裝，無直管段要求，易于安裝與使用
? 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)(RS232)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)(RS232 / I2C)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
? 零點穩(wěn)定度高
? 全量程高穩(wěn)定性、高度和優(yōu)良的重復性
? 低功耗、低壓損
? 響應(yīng)速度快
機械尺寸：

技術(shù)參數(shù)：
FS4001
量程范圍 0～20,50,200,500,1000,或根據(jù)客戶需求定制 sccm （毫升）
量程比 >100：1
±（1.5±0.2FS） %
重復性 ±0.75 %
零點輸出飄逸 ±30 mV
輸出飄逸 0.16 %/oc
響應(yīng)時間 100（默認，50，100，200，500，100設(shè)置） ms
工作電源 8~18Vdc,50mA
輸出方式 RS232,I2C,模擬電壓0.5~4.5Vdc
流量壓損 900 Pa
流量壓力 0.8 MPa
工作溫度 -5~+45 oC
存儲溫度 -20~+55 oC
工作濕度 <95%RH(無結(jié)冰、無凝露)
機械接口 M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接頭（配轉(zhuǎn)接模塊）
校準方式 空氣（或其他氣體），20oC,101.325kPa
重量 17.5 g