儀器簡介：
LC系列有出色的性能價格比,非常適用于過程壓力低于10exp-4Torr的檢漏和殘余氣體分析;使用開放式離子源,質(zhì)量數(shù)測量范圍1-100AMU或1-200AMU,數(shù)據(jù)有多種顯示模式:質(zhì)譜圖,棒狀圖(省略分辨率信息),趨勢圖(信號隨時間的變化),檢漏模式,列表模式,指針模式等;用戶可對上述顯示方式進行任意組合并保存,方便使用;軟件還自動生成日志文件,記錄燈絲狀態(tài),報警事件等,儀器開/關,方便管理
技術參數(shù)：
質(zhì)量數(shù)測量范圍:1-100AMU/1-200AMU
樣品壓力范圍:10exp-4Torr至高真空
小可檢分壓：5exp-12Torr;如使用電子倍增器,小可檢分壓降至5exp-14Torr
分辨率:0.5AMU(10%峰高)
燈絲發(fā)射電流:0.1-10mA;除氣時50mA
電子能量:30-150V,除氣時200V
離子能量:1-10V
靈敏度:2exp-4A/Torr(法拉第筒);測量條件是氮氣的分子離子峰,0.5AMU峰寬(10%峰高),1mA發(fā)射電流
穩(wěn)定性:質(zhì)量數(shù) ±0.1AMU(30分鐘預熱)
峰高 ±2%(30分鐘預熱)
主要特點：
性能出色,價格很有競爭力,非常適用于半導體和薄膜沉積過程中的檢漏和殘余氣體分析
軟件支持多種數(shù)據(jù)顯示方式
四極桿參數(shù)可自動優(yōu)化
內(nèi)置譜圖,幫助確認組分
LC系列有出色的性能價格比,非常適用于過程壓力低于10exp-4Torr的檢漏和殘余氣體分析;使用開放式離子源,質(zhì)量數(shù)測量范圍1-100AMU或1-200AMU,數(shù)據(jù)有多種顯示模式:質(zhì)譜圖,棒狀圖(省略分辨率信息),趨勢圖(信號隨時間的變化),檢漏模式,列表模式,指針模式等;用戶可對上述顯示方式進行任意組合并保存,方便使用;軟件還自動生成日志文件,記錄燈絲狀態(tài),報警事件等,儀器開/關,方便管理
技術參數(shù)：
質(zhì)量數(shù)測量范圍:1-100AMU/1-200AMU
樣品壓力范圍:10exp-4Torr至高真空
小可檢分壓：5exp-12Torr;如使用電子倍增器,小可檢分壓降至5exp-14Torr
分辨率:0.5AMU(10%峰高)
燈絲發(fā)射電流:0.1-10mA;除氣時50mA
電子能量:30-150V,除氣時200V
離子能量:1-10V
靈敏度:2exp-4A/Torr(法拉第筒);測量條件是氮氣的分子離子峰,0.5AMU峰寬(10%峰高),1mA發(fā)射電流
穩(wěn)定性:質(zhì)量數(shù) ±0.1AMU(30分鐘預熱)
峰高 ±2%(30分鐘預熱)
主要特點：
性能出色,價格很有競爭力,非常適用于半導體和薄膜沉積過程中的檢漏和殘余氣體分析
軟件支持多種數(shù)據(jù)顯示方式
四極桿參數(shù)可自動優(yōu)化
內(nèi)置譜圖,幫助確認組分
