儀器簡介：

Asylum’s MFP Nanoindenter 納米壓痕儀是一款為市場所認可的商業(yè)化納米級壓痕儀，是業(yè)內(nèi)款基于原子力顯微鏡的壓痕儀器。通過結合原子力顯微鏡的傳感器，為該款納米壓痕模塊提供了超過其他納米壓痕系統(tǒng)所無法企及的準度、以及敏感度。
納米壓痕儀通過與原子力顯微鏡的結合，利用原子力顯微鏡卓越的形貌觀察能力同時對壓頭和壓痕結果的測試，可以提供的定量壓痕接觸區(qū)域計算能力，提供業(yè)內(nèi)準確的確定接觸區(qū)域 ，獲得間接估算材料性質(zhì)所沒有的。特有的一維柔性鉸鏈的被動驅(qū)動方式從而使得漂移和深度測試中的其他錯誤得到小化。壓入過程中的熱漂移效應全自動扣除，測量結果更加真實、可靠。
高性能的樣品加載系統(tǒng)和傳感技術使得nanoindeter納米壓痕儀成為了多樣化的納米力學表征工具，是科學家、工程師和其他各領域用戶的選擇。在摩擦、模量成像、動態(tài)力學分析、薄膜、陶瓷、復合物、聚合物、微機電系統(tǒng)、生物和金屬等領域都有廣泛應用。符合 ISO/IEC 17025.1以及ISO 14577-22國際標準。
行業(yè)應用：材料、生物、化學、物理相關的政府檢測機構、科研院所、高校和大型企業(yè)研究機構 。每年銷售量超過50臺。


測量數(shù)據(jù)
 模量
 硬度
 蠕變
 應力-應變曲線
 塑性指數(shù)
 塑性功/彈性功
 彈性模量/損耗模量/力學損耗(tan)
 納米磨損性能
 納米劃痕臨界載荷
 表面磨擦及形貌圖
 粘結失效
 斷裂韌性
 沖擊性能
 接觸疲勞強度
 金屬,陶瓷,聚合物等材料的彈性性能.
 金屬的位錯現(xiàn)象.
 陶瓷的破裂現(xiàn)象.
 薄膜，骨，生物材料的機械性能.
 殘余應力
 軟金屬和聚合物的由時間決定的機械性能.
 結合納米壓痕的IV曲線電學測試
 結合納米壓痕的壓電力顯微鏡測試（詳見PFM應用手冊）
 力反饋 (應力控制)以及壓痕深度(應力控制)
 力學實時分析
 力學 vs 位置
 恒幅載荷
 準靜態(tài)實驗法: 壓痕蠕變, 應力松弛
 動態(tài)測試

 納米壓痕柔性鉸鏈
兩種柔性鉸鏈可選：Standard and Low 
                                 

	標準型	微力型
彈性常數(shù) (typ.)	4,000N/m	800N/m
質(zhì)量	250mg	200mg
共振頻率	700Hz	300Hz

力學分辨
1kHz 帶寬下測試 

	標準型	微力型
載荷	20mN	4mN
力學噪音水平	75nN	15nN
位置噪音水平	0.3nm	0.3nm

                             
掃描范圍
Z 范圍: 15μm 標準, 40μm (可選).
荷載率 (Vlr ): 1μN/s <Vlr<10mN/s..
樣品尺寸
小樣品臺: 12.7mm SEM 兼容樣品臺
中樣品臺: 2.0英寸樣品臺.
大樣品臺: 4.0英寸x 2.4英寸
樣品臺
微分尺驅(qū)動的機械樣品臺（可選馬達驅(qū)動）
掃描軸
X-Y: 90μm 全行程閉環(huán). 閉環(huán)傳感器噪音<0.6nm (Adev)（ 0.1Hz-1kHz bandwidth (BW)）
非線性度全行程小于<0.5% (Adev/full travel)
Z: >15μm 閉環(huán)控制 (40μm 可選).
傳感器噪音<0.3nm Adev （0.1Hz-1kHz BW ）
非線性度全行程<0.2% (Adev/full travel)
Z高度噪音 <0.06nm Adev,（ 0.1Hz-1kHz BW）.
軟件
IGOR Pro by WaveMetrics出品的IGOR Pro數(shù)據(jù)處理軟件,可以有客戶自由編輯。 

系統(tǒng)包括了以下的Asylum’s ARC2™ 全數(shù)字控制器，用戶可以根據(jù)自己要求選擇底座(上視光路或者多光路底座), 可以選擇標準型或者微力型頭部, 兩個金剛石壓頭 (one cube corner and one Berkovich) 、一個球形壓頭以及練習用壓頭。一個彈性系數(shù)校準器以及適應不同大小的樣品臺。