UV紫外臭氧清洗過(guò)程提供一種簡(jiǎn)單,經(jīng)濟(jì),快速獲得潔凈的表面,去除大多數(shù)無(wú)機(jī)基材(比如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁*等)上的污染物。是當(dāng)基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時(shí),紫外清洗理想。獲得潔凈的表面,要在傳統(tǒng)清洗后,再用紫外臭氧清洗過(guò)程幾分鐘就可以啦。
紫外臭氧清洗可以去除:
皮膚油脂,硅油和油脂,助焊劑,殘留的光刻膠,膠水溶劑,碳等。
怎樣說(shuō)是“”潔凈?
接觸角測(cè)量方法4-5度。適用A和CA測(cè)量細(xì)微的峰值。使用蒸汽測(cè)試,在冷凝和蒸發(fā)時(shí)形成一致的彩虹裝的條紋。通常情況下,使用清洗或是聲清洗工序后,清潔關(guān)鍵表面認(rèn)為完成。紫外臭氧清洗提供一種新的清洗尺度。在傳統(tǒng)清洗工序后加入紫外清洗的應(yīng)用,產(chǎn)品的性能和性的不斷的證明這種新的清洗尺度的價(jià)值。
紫外臭氧清洗工作原理:
UVOCS清洗設(shè)備的是低壓石英汞燈,產(chǎn)生254和185nm范圍的紫外線。臭氧和等離子氧氣產(chǎn)生,污染物分子在吸收254nm波長(zhǎng)紫外線后被激發(fā)或分解。激發(fā)的污染物可以和等離子氧原子反應(yīng)形成氣體,比如CO2,H2O等。整個(gè)過(guò)程在室溫**發(fā)生,并且要1到幾分鐘完成。
*注1:白色氧化鋁暴露在UV能量下會(huì)變黃。這種現(xiàn)象是由于基材吸收UV能量, 而不是一種涂層。這種氧化鋁在加熱情況下會(huì)轉(zhuǎn)化為他原來(lái)的顏色。
**注2:清洗元件溫度的上升取決清洗過(guò)程的時(shí)間長(zhǎng)度。在大多數(shù)應(yīng)用,元件溫度可以視為室溫。
主要型號(hào):
深圳慧爍機(jī)電的novascan紫外臭氧清洗機(jī)系列:本產(chǎn)品分為四種系列,1低樣品臺(tái)型,2基礎(chǔ)性升降工作臺(tái)型,3數(shù)字控制時(shí)間型,4加熱型。不同型號(hào)對(duì)應(yīng)不同功能。詳情可咨詢慧爍機(jī)電北京辦事處。
分別的功能特性有1:工作臺(tái)高度可調(diào),以適應(yīng)不同高度的樣品。2:帶加熱功能,能為的激發(fā)分子,強(qiáng)光清洗效果。3:能夠自由數(shù)字設(shè)定清洗時(shí)間。4:意外護(hù)功能,如果不小心打開(kāi)門(mén)板,能自動(dòng)關(guān)閉燈光,保護(hù)實(shí)驗(yàn)人員不受紫外線輻射。
慧爍翻蓋式紫外清洗機(jī),可以提供4×4英寸至12×16英寸的清洗尺寸。慧爍紫外臭氧清洗機(jī)配備一個(gè)帶反射罩的度UV格柵狀燈管。4英寸或者更大尺寸的慧爍清洗機(jī)具有進(jìn)出氣接口。該系統(tǒng)的曝光時(shí)間控制是由一個(gè)便捷的預(yù)設(shè)置時(shí)間控制器控制,容易操作。
功能特性:
*紫外線護(hù),開(kāi)門(mén)自動(dòng)關(guān)閉紫外線燈管意外輻射。
*工作臺(tái)高度升降可調(diào),以適應(yīng)不同類型,規(guī)格,高度的樣品。
*可選加熱功能
*可選檔位時(shí)間控制或者數(shù)字時(shí)間控制
*方便的簡(jiǎn)單按鍵操作
*固定時(shí)間檔:15.30.60.120分鐘,或數(shù)字控制時(shí)間
*工作進(jìn)程可以在任何時(shí)候手工終止
*容易安裝和使用
一般特性:
翻蓋式 :翻蓋式設(shè)計(jì),方便取放樣品。
設(shè)備材料:鋁合金托板,重量輕。設(shè)備總體積小。
燈 管 :盤(pán)狀密集型燈管,清洗效果的。燈管壽命大于5000h。
電 源 :標(biāo)準(zhǔn)220V交流電壓。380V電壓束縛。
樣品高度:樣品臺(tái)與燈管之間的高度可調(diào),可以適應(yīng)不同類型,規(guī)格,高度的樣品。
樣品放置:打開(kāi)紫外臭氧清洗機(jī)清洗腔上蓋,露出樣品臺(tái),允許360度裝入樣品。
進(jìn)出氣口:標(biāo)準(zhǔn)配置2個(gè)氣接口,可自定義實(shí)驗(yàn)條件,可額外通氧氣。
加熱可選:托盤(pán)帶加熱功能,可加熱至150攝氏度。
臭氧中和器:可選的臭氧中和器是清洗之后中和臭氧的便捷配置,無(wú)需其他抽風(fēng)條件。
裝置:當(dāng)清洗腔打開(kāi)時(shí),系統(tǒng)鎖會(huì)關(guān)掉UV燈,紫外線意外輻射。
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慧爍機(jī)電北京辦事處 吳先生
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