靈敏高阻/低電流測(cè)量儀器
6517A型高阻計(jì)/靜電計(jì)

 的電流測(cè)量靈敏度1&tim;10-17A；
的電阻(率)直接測(cè)量能力5&tim;10-17Ω；
準(zhǔn)確度、靈敏度、功能、價(jià)格任何其他公司的高
阻計(jì)/靜電計(jì)。
測(cè)量范圍：
電流(10-17~10-2A)；
電壓(10-6~102/104V)；
溫度(-190~1350℃)；
電阻(10-1~1017Ω)；
電荷(10-15~10-6C)；
濕度(0.3%~100%)

主要性能：
輸入阻大于2&tim;10¹⁴Ω；
輸入端壓降小于20µV；
儀器內(nèi)部溫度濕度補(bǔ)償；
已備1kV精密程控電壓源，小步長5mV；
測(cè)量數(shù)據(jù)可作為t,T,H的函數(shù)；
六位半弱電流和高阻電壓測(cè)量分辯率；
小信號(hào)帶寬100kHz；
直接測(cè)體/表面電阻率10¹⁸Ωcm,10¹⁷Ω/口；

噪聲小于7.5&tim;10^-16A；
具有十通道測(cè)量擴(kuò)展能力；
快速弱電流測(cè)量125點(diǎn)/秒；
多參數(shù)同時(shí)測(cè)量和顯示；
帶IEEE-488.2接口和RS-232接口；
前放輸出(阻轉(zhuǎn)換)和模擬輸出；
長可驅(qū)動(dòng)300米電纜；
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)(15K,Max),觸發(fā)聯(lián)接技術(shù)

選  件：
8009-體/表面電阻率測(cè)試箱；
8002A-元器件測(cè)試箱；
6521/6522-十通道低漏電流掃描卡；
6517-RH-濕度探頭；
KPC-488.2AT-IEEE-488.2接口卡；
TTPOINT-測(cè)控軟件包；

SC-9(22)-二(三)同軸低噪聲電纜；
6103C-40KVDC輸入分壓探頭；
237-TRX-NG-三槽三同軸至BNC轉(zhuǎn)接器；
5156-校準(zhǔn)源；
6524-高阻、體/表面電阻率測(cè)試軟件包，新變電壓
   性法增強(qiáng)高阻測(cè)試能力

軟件支持：
與617靜電計(jì)兼容，SCPI命令；
6524高阻、體/表面電阻率測(cè)試軟件；
有LABVIEW和TTPOINT軟件所驅(qū)動(dòng)程序；
多種編程舉例；
內(nèi)置九個(gè)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試程序：
二級(jí)管漏電流測(cè)試；
電容漏電測(cè)試；

表面緣電阻測(cè)試；
電纜緣電阻測(cè)試；
方波掃描測(cè)試；
電阻電壓系數(shù)測(cè)試；
體電阻率測(cè)試；
表面電阻率測(cè)試；
階梯波掃描測(cè)試

62/65系統(tǒng)：
62系統(tǒng)適用于高阻元器件測(cè)試，包括6517A高阻計(jì)，8002A元器件測(cè)試盒，6524軟件及電纜附件；
65系統(tǒng)適用于高阻材料測(cè)試，包括6517A高阻計(jì)8009電阻率測(cè)試盒，6524軟件及電纜附件