影像測量儀/ITO/TFT檢測
產品特色：
1、00級花崗巖底座和立柱，機臺擁有高的穩定性和剛性，工作臺整體鑄造，經時效熱處理/穩定化處理；
2、工作臺采用雙面扣式設計，選用精密P級V型導軌，擁有高的直線性，運行的機械，精密光軸傳動；
3、激光指示器指示測量位置，快速定位；
4、高分辯率日本CCD配的美國NVA光學鏡頭，的測量畫面；
5、選用精密級新天光學尺，分辯率為0.0005mm（0.5um）,重復為0.001mm；
6、大的測量軟件，可手動批量編程測量，多種報表格式輸出轉換；
7、可選配高清ITO/TFT導電薄膜光學鏡頭CCD，選配英國RENSHAM接觸式測頭組。
儀器規格參數: 長度單位：mm
儀器型號 | VMS-2010 | VMS-3020 | VMS-4030 | VMS-5040 | VMS-6050 | |
工作臺 | X/Y軸行程 | 200×100 | 300×200 | 400×300 | 500×400 | 600×500 |
Z軸行程 | 空間245mm,調焦行程170mm，工作距離95mm | |||||
金屬臺尺寸 | 350×220 | 450×350 | 550×450 | 700×600 | 800×700 | |
玻璃臺尺寸 | 230×130 | 330×230 | 430×330 | 530×430 | 630×530 | |
傳動方式 | X/Y軸光桿傳動、Z軸光軸傳動 | |||||
數字測量系統 | 光學尺分辨率：X/Y軸0.0005mm(0.5um) | |||||
測量：≤3um+L/200重復：≤1um+L/200 | ||||||
多功能數據處理器可測點、線、圓、角度等 | ||||||
影像系統 | 攝像機：日本彩色1/3” CCD攝像機放大倍率30-230X | |||||
鏡頭：NVA高清變倍鏡頭/連續放大分辨率0.7-4.5X 可選配0.5X物鏡時，總放大倍率15-115X 可選配2X物鏡時，總放大倍率60-460X | ||||||
照明系統 | 表面光源與光源LED冷光源、壽命長、亮度可調 | |||||
儀器外開尺寸 | 500×700×1100 | 550×700×1100 | 600××750×1100 | 700×900×1150 | 850×1050×1200 | |
儀器重量 | 180 | 230 | 260 | 300 | 500 |
