產(chǎn)品介紹
激光干涉測(cè)量具有高的,是測(cè)量科學(xué)中重要的手段之一,幾十年來(lái)已經(jīng)在各行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用。一單頻干涉測(cè)量?jī)x相比,基于外差技術(shù)的雙頻機(jī)關(guān)干涉測(cè)量?jī)x具有干擾性好,工作穩(wěn)定的有點(diǎn),是高測(cè)量行業(yè)的測(cè)量手段。清華大學(xué)推出的LH2000型雙頻激光干涉儀,擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),及時(shí)指標(biāo)國(guó)外同等水平,是測(cè)量行業(yè)用戶(hù)的選擇。
應(yīng)用場(chǎng)所
數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺(tái)校準(zhǔn)、光刻機(jī)校準(zhǔn)、振動(dòng)測(cè)量等。
系統(tǒng)特點(diǎn)
1采用氦氖雙頻激光進(jìn)行測(cè)量,干擾性好
2頻差達(dá)7MHZ&plun;1Mhz,測(cè)量速度可達(dá)2m/s
3結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,方便易用
4自動(dòng)環(huán)境補(bǔ)償,測(cè)量。
5擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),售后保障
6可根據(jù)客戶(hù)需奧提供系統(tǒng)解決方案
規(guī)格參數(shù)
激光頭尺寸 330*110*130mm
激光頭重量 3.3Kg
激光工作波長(zhǎng) 632.8nm
激光功率 0.5-1mW
激光光束直徑 5mm
頻差 7Mhz&plun;1Mhz
工作溫度范圍 0℃-+40℃
系統(tǒng)組成 激光頭、光學(xué)組件 、補(bǔ)償傳感器、 筆記本電腦、連接電纜
激光穩(wěn)頻 1*10-8
線(xiàn)性測(cè)量范圍 10m
線(xiàn)性測(cè)量 1*10-6】
分辨率 1nm
測(cè)量速度蘇 2m/s
可定做更高頻差





