萊因泰可氣體質量流量計M2100V
韓國原裝高氣體質量流量計/氣體質量流量控制器,使用的熱傳感器和控制電路計算。廣泛應用于半導體工業和其他行業,產品設計堅固、耐用,且經濟。
應用:
工業,氣體混合及分析 ,半導體工業,注氣、表面加工行業(PVC,CVD,反應器等) , 部件泄露檢測,產品研究和開發,高壓行業,光纖,燃料電池,反應器系統,氣體的混合系統。
優勢:
l 測量質量流量
l 不需要溫度、壓力補償
l 緊湊的流量控制系統
l 高(&plun;1%F.S)
l 耐高壓(90 公斤)
l 快速響應時間(<1秒)
l 高重復性(&plun;0.25%F.S)
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規格:
| 型號 | M2100V |
| 流量范圍(N2) | 30~100 slpm |
| 響應時間 | <2秒 |
| 度 | &plun;1% |
| 重復 | &plun;0.25% |
| 輸入輸出信號 | 0~5Vdc |
| 供電 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
| 工作壓力 | < 90 bar |
| 工作溫度 | 0~50℃ |
| 漏率 | 1×10-9atm.cc/sec |
| 控制范圍 | 2~100% |







