日本原裝索尼1/2''CCD。美國0.7*4.5X變焦物鏡和測量軟件，帶自動尋邊，可以非接觸式測高，電腦，送儀器卓，3D探頭功能加7000元
儀器規格：
儀器型號 | VMS-1510 | VMS-2010 | VMS-2515 | VMS-3020 | VMS-4030 | |
工作臺 | 金屬臺面尺寸(mm) | 354×228 | 404×228 | 450×280 | 510×290 | 606×466 |
玻璃臺面尺寸(mm) | 210×160 | 260×160 | 306×196 | 360×260 | 450×350 | |
運動行程(mm) | 150×100 | 200×100 | 250×150 | 300×200 | 400×300 | |
儀器重量(Kg) | 100 | 110 | 120 | 200 | 240 | |
外形尺寸(mm) | 600×550×920 | 600×550×920 | 680×600×1020 | 780×670×1070 | 960×750×1100 | |
Z軸升降行程 | 150mm | |||||
工作距離 | 108mm | |||||
X、Y、Z數顯解析度 | 1μm | |||||
X、Y坐標示值誤差 | ≤(3+L/200)μm | |||||
影像系統 | 攝像機：彩色1/3" CCD | |||||
電源 | AC180~260V 50Hz | |||||
測量功能 | Mclns自動測量軟件，可自動尋邊、去毛刺，可測貼、線、圓、圓心距、擺正等 |
