采用L型移動(dòng)橋式，由兩到三個(gè)高等高塊規(guī)穩(wěn)固支撐Y向槽型導(dǎo)軌，左立柱與橫梁、滑架、鞍座共同組成移動(dòng)橋，了運(yùn)動(dòng)質(zhì)心，減少了阿貝誤差；
X軸和Z軸均采用精加工及經(jīng)過表面硬質(zhì)陽化處理的航空鋁合金；
Y軸采用一體化槽型精密花崗石導(dǎo)軌；
Z軸采用的可調(diào)式氣動(dòng)平衡設(shè)計(jì)，采用柔性懸掛系統(tǒng)，避免了軸向運(yùn)動(dòng)和傳動(dòng)系統(tǒng)之間的干涉問題，了測(cè)量機(jī)的和長
期穩(wěn)定性；
各運(yùn)動(dòng)軸均采用直流伺服驅(qū)動(dòng)+增強(qiáng)型同步帶，運(yùn)動(dòng)的平衡和準(zhǔn)確定位；
三軸均采用預(yù)載荷空氣軸承，運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)，導(dǎo)軌受磨損；
三軸均采用高歐洲光學(xué)尺，系統(tǒng)解析度可達(dá)0.078um；同時(shí)采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光學(xué)尺的變形，在溫度變化時(shí)的線性伸縮；
測(cè)量機(jī)三軸都配置溫度感測(cè)器，即時(shí)監(jiān)控溫度變化，自動(dòng)補(bǔ)償由于溫度變化而引起的誤差。
X軸和Z軸均采用精加工及經(jīng)過表面硬質(zhì)陽化處理的航空鋁合金；
Y軸采用一體化槽型精密花崗石導(dǎo)軌；
Z軸采用的可調(diào)式氣動(dòng)平衡設(shè)計(jì)，采用柔性懸掛系統(tǒng)，避免了軸向運(yùn)動(dòng)和傳動(dòng)系統(tǒng)之間的干涉問題，了測(cè)量機(jī)的和長
期穩(wěn)定性；
各運(yùn)動(dòng)軸均采用直流伺服驅(qū)動(dòng)+增強(qiáng)型同步帶，運(yùn)動(dòng)的平衡和準(zhǔn)確定位；
三軸均采用預(yù)載荷空氣軸承，運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)，導(dǎo)軌受磨損；
三軸均采用高歐洲光學(xué)尺，系統(tǒng)解析度可達(dá)0.078um；同時(shí)采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光學(xué)尺的變形，在溫度變化時(shí)的線性伸縮；
測(cè)量機(jī)三軸都配置溫度感測(cè)器，即時(shí)監(jiān)控溫度變化，自動(dòng)補(bǔ)償由于溫度變化而引起的誤差。
