特點

•大幅度了驅(qū)動速度(X軸：80mm/s, Z2軸：20mm/s)，近一步降低了總測量時間。

•為了在時段內(nèi)維持儀器的直線度規(guī)格，三豐公司采用了具有的耐摩擦性及穩(wěn)定性的高硬度陶瓷導(dǎo)軌。

•大量的外周設(shè)備選件支持CNC模式，從而可以很容易實現(xiàn)CNC測量。

•驅(qū)動裝置(X軸)和立柱(Z2軸)中集成了高線性編碼器(Z2軸為ABS型)，從而了在垂直方向持續(xù)自動測量小孔和不易定位工件的重復(fù)。

• X軸：&plun;(0.8+0.01L)μm,Z1軸：&plun;(0.8+|0.5H|/25)μm*，針對高工件的測量所設(shè)計。

* CV-4100S4, H4, W4型L為驅(qū)動長度，H為測量高度(mm)

• CV-4100系列的驅(qū)動裝置集成了激光全息測微計檢測器，在Z軸(垂直方向)的窄／寬測量范圍內(nèi)，提供卓越的和分辨率。

技術(shù)參數(shù)

X軸

測量范圍: 100mm或200mm

分辨率: 0.05μm

檢測方法:反射型線性編碼器

驅(qū)動速度: 80mm/s和手動

測量速度: 0.02 - 5mm/s

移動方向:向前／向后

直線度: 0.8μm/100mm, 2μm/200mm

*當X軸在水平方向上指示: &plun;(1+0.01L)μm (CV-3100S4, H4, W4)(20° C時) &plun;(0.8+0.01L)μm (CV-4100S4, H4, W4)&plun;(1+0.02L)μm (CV-3100S8, H8, W8)

&plun;(0.8+0.02L)μm (CV-4100S8, H8, W8)

* L為驅(qū)動長度(mm)傾斜范圍: &plun;45°

Z2軸(立柱)

垂直行程: 300mm或500mm

分辨率: 1μm

檢測方法: ABSOLUTE線性編碼器

驅(qū)動速度: 0 - 20mm/s和手動

Z1軸(檢測器)

測量范圍: &plun;25mm

分辨率: 0.2μm (CV-3100), 0.05μm (CV-4100)

檢測方法:線性編碼器(CV-3100),

激光全息測微計(CV-4100)

指示: &plun;(2+I4HI/100)μm (CV-3100)(20° C時) &plun;(0.8+I2HI/100)μm (CV-4100)

*H為水平位置上的測量高度(mm)

測針上／下運作:弧形運動

測針方向:向上／向下

測力: 30mN

跟蹤角度:向上：77°、向下：87°

(根據(jù)表面粗糙度，使用標準單切面測針)

測針針尖 半徑: 25μm、硬質(zhì)合金針尖

基座尺寸(W x H):750 x 600mm或1000 x 450mm

基座材料:花崗巖

重量

主機: 140kg (S4), 150kg (H4), 155kg (W4)

145kg(S8), 155kg (H8), 160kg (W8)

　控制裝置:14kg

　遙控箱: 0.9kg

電源: 100 – 240VAC &plun;10%, 50/60Hz

能耗: 400W (限主機)