產品品牌：

AGC

產品型號：

SERICS 100/600

系統名稱

硅烷中雜質分析檢測系統。

設計思路

我公司設計的“高純氣分析檢測系統”包括以下主要設計思路： l  專臺專用，在完全滿足檢測要求的前提下，優化組合配套； l  儀器的選型配套，要符合實驗室的使用要求，并且便于分析人員的操作； l  提供人性化的售后服務和支持，保證使用方能獨立操作。

技術優勢

我公司設計的“高純氣分析檢測系統”方案擁有以下技術優勢： l  色譜儀的部件----檢測器完全基于愛爾蘭AGC公司的自主研發， 具有較高的靈敏度、較好的穩定性； l  色譜儀的氣路系統----獨到的中心切割、反吹系統技術，可以完成多種復雜成分的分析檢測； l  色譜儀的軟件系統----專門為AGC色譜配套研發的Trend Vision，除完成測試、自動分析/存儲數據，自動繪制譜圖、反控氣相色譜、調節保留時間及各種切割動作外，多可同時控制4臺分析儀器； l  本方案中所配套的露點儀，為行業內先進的氣體分析儀器，可以完全滿足實驗室高純氣體的檢測。    

方案詳解

方案總述

l 硅烷中H₂、O₂、N₂、CH₄、CO、CO₂雜質分析

推薦儀器：AGC 100DID氣相色譜儀

數量：1臺 l 特氣分析專用吹掃系統一套

硅烷中H₂/O₂/N₂/CH₄/CO/CO₂雜質分析----AGC100DI

檢測器工作原理

 放電離子化檢測器的結構如圖1所示。該檢測器由電離室和放電室兩部分組成，兩室之間有狹路相通。當在放電室內的兩個高壓電極上加以適量高壓電后，兩電極之間就會產生放電，從而得到一束高能量的紫外光輻射(400－500nm)。高能紫外光被引入射向電離室內，在這過程中，高能光子直接照射樣品成份中被測雜質分子，使其電離形成離子，或者高能光子首先將載氣氦原子激發至亞穩態(He*)，然后具有較高能量的He*再與樣品中雜質分子發生非彈性碰撞并使其電離。此時在集電極上加以適當電壓收集被電離的雜質分子，并將其信號放大記錄即得到被測成份的譜峰。由于光子具有較高能量(24.8ev)，因此可使包括氖在內的一切物質分子電離，所以，DID是一種高靈敏度、通用型檢測器。

圖1：DID檢測器

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  技術數據 　 　 　 　 　 　 　 　    

型號、廠家	AGC100DID、愛爾蘭AGC儀器有限公司
DID檢測器	靈敏度：CH4≤5ppb
	線性范圍：＞106
柱箱溫度范圍	室溫～250℃
升溫	＜±1％
載氣	超純氦  ＞99.999%
放電氣體	超純氦  ＞99.999%
驅動氣	清潔干燥空氣
電源要求	220V，50/60Hz
樣品氣進口連接方式	1/8″VCR
安裝方式	支架式

       

 

 

　

　

　

　

　

　

供貨組成及系統流程圖

　  

AGC600DID色譜儀組成(如圖2所示)：			數量
1.色譜柱分離系統	色譜柱類型：填充柱		1套
	填充物類型：5A分析篩、Hayesep，脫氧柱
2.控制閥系統	進樣閥：十通電磁閥		1組
	切割控制閥：八通，四通電磁閥		2組
3.分析檢測系統	DID檢測器		1套
	專用電源		1個
4.數據分析系統	AGC專用工作站Trend Vision：除完成測試、自動分析/存儲數據，自動繪制譜圖、反控氣相色譜、調節保留時間及各種切割動作外，多可同時控制4臺色譜儀，圖2所示。		1套
	電腦		1臺
	打印機		1臺
配套組成部分：			數量
載氣純化器		可再生型，型號75-802，圖3所示。	1個
超高純調壓器		AGC(P-125)專用的氣體超高純調壓器(雙極)圖4所示	2個
載氣切換裝置		專用切換閥組	1套
標準氣		各組分均符合檢測要求	1瓶
載氣		超純氦  ＞99.999%	2瓶
驅動氣		清潔干燥空氣	1瓶

 儀器外形圖

   

                                                                     AGC 100DID主機

             載氣純化器

特氣分析專用吹掃系統

      

技術服務

安裝調試

l  儀器到達客戶現場后，根據需方建議的時間，供方安排工程師去現場進行儀器開箱驗收及安裝調試工作。 l  調試工作由供方負責，需方應積極派出工程師配合供方調試，并為調試工作創造必要工作條件。 l  儀器調試達到廠家儀器說明書指標后，需方人員驗收。 l  賣方保證所提供儀器設備及配置能夠正常投入使用，并用于貴企業高純氣體的分析，若儀器不能正常投入使用，賣方有權要求退貨及賠償處理。

培訓

l  基礎培訓：供方根據需方要求，可安排一定時間在儀器調試前進行分析儀器應用及維護的基礎知識培訓，為期1周，人員2－4名，地點在北京。 l  應用培訓：需方派出工程師貳名，配合供方開展儀器調試，并在調試過程中接受實際應用培訓。

售后技術支持

l  現場服務：自儀器交付客戶之日起，不論何時儀器發生質量問題，供方在接到來電后立即進行技術咨詢。對儀器問題較嚴重者，則24小時趕到現場解決。 l  保質期為壹年，在保質期內，因質量原因造成儀器損壞的，供方負責維修及更換損壞的零部件；在保質期外，供方仍負責維修及更換損壞的零部件，但需方需按供方規定支付有關費用。但是，供方保證長期以優惠價提供零部件。 供方對所提供的儀器協助解決現場應用問題，包括為客戶建立操作規程，對氣體分析管理組織方案的建議，對化驗室建設及整改方案的建議。