- 企業(yè)類型：制造商
- 新舊程度：全新
采用海克斯康集團(tuán)的技術(shù)；先進(jìn)的全鋁技術(shù)，的剛性/質(zhì)量比，保證高性能和高；X向橫梁采用超高精密三角梁（Tricision）技術(shù)，相比矩形橫梁，重心更低，質(zhì)量剛性比，運(yùn)動(dòng)更加可靠，該技術(shù)受到保護(hù)；Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌，在降低機(jī)器重量的同時(shí)，有效消除了運(yùn)動(dòng)扭擺，保證了測(cè)量和穩(wěn)定性；Z向采取獲得的氣動(dòng)平衡技術(shù)，采用柔性懸掛系統(tǒng)，避免了軸向運(yùn)動(dòng)和傳動(dòng)系統(tǒng)之間的干涉問題，提高了測(cè)量機(jī)的和長(zhǎng)期穩(wěn)定性；三軸均采用德國(guó)HEIDENHAIN光柵尺，系統(tǒng)分辨率可達(dá)0.078μm，同時(shí)采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形，保證在溫度變化時(shí)的線性伸縮；各運(yùn)動(dòng)軸均采用直流伺服驅(qū)動(dòng)+增強(qiáng)型同步帶，確保運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)和準(zhǔn)確定位；采用海克斯康為Croma打造的IDC-1控制系統(tǒng)，21項(xiàng)誤差空間修正技術(shù)和自動(dòng)調(diào)諧功能，保證了機(jī)器的動(dòng)態(tài)性能和測(cè)量；
