超聲掃描顯微鏡是新一代的超聲測(cè)試設(shè)備,可在生產(chǎn)線中用手工掃描方法來(lái)檢測(cè)器件的缺陷等。該設(shè)備可利用不同材料對(duì)超聲波聲阻抗不同，對(duì)聲波的吸收和反射程度不同，來(lái)探測(cè)半導(dǎo)體、元器件的結(jié)構(gòu)、缺陷、對(duì)材料做定性分析。先進(jìn)的聲學(xué)顯微成像（ AMI ）的技術(shù)是諸多行業(yè)領(lǐng)域在各類樣品中檢查和尋找瑕疵的重要手段。在檢查材料本身或粘結(jié)層之間必須保持完整的樣品時(shí)，這項(xiàng)技術(shù)的優(yōu)勢(shì)尤為突出。超高頻超聲檢查可以比其他任何方法都更有效地檢測(cè)出脫層，裂縫，空洞和孔隙。

超聲掃描顯微鏡原理：

是一種非破壞性的檢測(cè)組件的完整性，內(nèi)部結(jié)構(gòu)和材料的內(nèi)部情況的儀器，作為無(wú)損檢測(cè)分析中的一種，它可以實(shí)現(xiàn)在不破壞物料電氣能和保持結(jié)構(gòu)完整性的前提下對(duì)物料進(jìn)行檢測(cè)。被廣泛的應(yīng)用在物料檢測(cè)（IQC）、失效分析（FA）、質(zhì)量控制(QC)、質(zhì)量保證及可靠性(QA/REL)、研發(fā)(R&D)等領(lǐng)域。其可以檢測(cè)：1.材料內(nèi)部的晶格結(jié)構(gòu)，雜質(zhì)顆粒;2.內(nèi)部裂紋;3.分層缺陷;4.空洞、氣泡、空隙等等

超聲掃描顯微鏡的特點(diǎn)

超聲波探頭頻率：5M到40M 超聲波掃描模式：A-Scan(某點(diǎn)掃描)、B-Scan(塊掃描)、C-Scan(層掃描)、Multi-Scan(多層掃描)、Q-BAM(虛擬橫截面)、T-Scan (穿透式掃描)、3-V(3維圖像)、Tray-Scan(盤掃描) 掃描范圍：12.9X12.4英寸 分辨率：8192X8192 選擇的聲波寬度：0.25納秒到1微秒 Z軸分辨率：80納米