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ZDF-5202Ⅱ型復合真空計

產品型號：

ZDF-5202Ⅱ型復合真空計

1 儀器的用途及使用范圍 ZDF-5202Ⅱ型復合真空計由雙路電阻規(ZJ-52T)與單路電離規(ZJ-2)組成，用于1.0×10⁵～1.0×10^-5Pa之間的壓力測量，適用于真空應用、真空獲得等需要實時監測真空與控制輸出的設備制造行業，包括半導體制造、鍍膜設備、真空排氣臺、真空冶煉設備等生產車間及大專院校、科研院所實驗室。儀器使用環境條件在5℃～35℃，相對濕度在80%以下，無強磁場及劇烈震動的場合。   2  主要技術性能規范 2.1  測量范圍                 電阻部分觀測范圍：1.0×10⁵～1.0×10^-1 Pa 電阻部分測量范圍：3.0×10³～1.0×10^-1Pa 電離測量部分范圍：1.0×10^-1～1.0×10^-5 Pa 2.2 測量                  電阻部分:≤±50%                               電離部分：≤±5% 2.3  電源                       ～220V±22V  50Hz ±1Hz 2.4  電離規管發射電流          5mA 2.5  加速極對地電壓           225V±2V 2.6 燈絲對地電壓            25V±1V             2.7 收集極對地電壓             0V 2.8  除氣電壓                ～10V±2V 2.9  儀器外形尺寸             裝架式： 90mm×480mm×280mm 2.10  儀器開孔尺寸            88mm×440mm 2.11 儀器重量                 5Kg