掃描熱顯微鏡模塊（由控制器，軟件和探針組成）可使大多數AFM實現對試樣溫度的掃描成像，且分辨率可達0.1℃。
SThM探針
SThM的探針可測量探針溫度，因而能實現對試樣表面的導熱系數或溫度變化的掃描成像。表面形貌和熱性能成像圖的分辨率一般低于100nm。懸臂由SiN制成，內嵌薄金屬線且金屬線的阻位置在針尖附近。由于使用了金屬薄膜電阻，這類探針不像ThermaLever探針能升至很高的溫度。為了便于操作和使用，這類探針的針尖通常先預裝在支架上并采用電氣連接。
探針型號 | GLA |
微懸臂材料 | SiN |
電阻材料 | 鈀 |
長度（μm） | ~150 |
厚度（μm） | ~0.5 |
針尖高度（μm） | 10 |
彈簧常數（N/m) | ~0.3 |
共振頻率（kHz) | 50 |
針尖半徑 | ＜100 |
可控溫度（℃） | 160 |
圖像模式 | |
接觸模式 | Y |
間歇接觸模式 | Y |
