上海圣沃實業有限公司
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特點
1.快速響應ppb水平的微量濕度變化
2.高靈敏度，實時監測
3.小巧經濟，適合多點安裝
4.報警點設置可編程
5.交通燈直觀狀態顯示
6.MODBUS兼容
典型運用
安裝于晶圓生產FAB中的高純惰性氣體管路末端
技術參數
響應時間：<1Min（在1ppb基礎上的20ppb變動）
濕度范圍：1ppb~20,000ppm
工作壓力：0~10Bar
壓力等級：30MPa
工作溫度：+5~+40℃
氣室材料：冷拉不銹鋼，內部超微米級電拋光
防護等級：IP65
流量等級：建議為1~10NL/Min
工作電源：20~28VDC
輸出信號：Modbus RS485
