高純水,電瓶高純水,工業(yè)高純水,工廠高純水,制藥高純水
高純水的級別 
4．1高純水可分為電子級高純水和普通高純水，分別用符號EH和pH標志。
4. 2電子級高純水
4．2．1在制造工藝中使用電子級高純水的電力半導體器件有如下特點：
a．具有精細圖形結構；
b．對器件表面有特殊要求；
c．工藝對水質有特定的嚴格要求。
4．2．2電子級高純水分為兩個級別：特級和I級。它們的標志分別是：
特級電子級高純水：EH—T
電子級高純水：EH—1
4．3普通高純水
4．3．1普通高純水用于一般電力半導體器件的制造工藝中。
4．3．2普雙高純水分為三個級別：Ⅰ級、Ⅱ級和Ⅲ級。它們的標志分別是：
I級普通高純水：pH—Ⅰ
x級普通高純水：PH—Ⅱ
m級普通高純水：pH—Ⅲ
4. 4電阻率低于5MΩ·cm的水不能稱為高純水。

5技術要求
5．1電子級高純水
5．1．1電子級高純水應考核四項內容：
a. 水中自由離子濃度(主要影響電阻率)；
b．水中懸浮微粒的數量和大小；
C. 水中有機物總量；
d. 水中細菌微生物狀況。
5. 1. 2電子級高純水的各項技術指標由表1給出。


表l 
指 　　　標  級別  
EH— T  EH-I 
電阻率，MΩ·cm(25℃)  18 (90％時間）
小17 16~18 (90％時間）
小15 
大于1μm微粒數.個／mL ＜1 1 
 大于0．5um微被數
(值)，個／mL 100  150 
 細菌個數，個／mL  ＜1  1 
 總有機碳含量(值)，μg／L 50 100 
全硅(值)，μg／L 2 10 
氯含量(值)，μg／L  0.5 2 
鉀含量(值)，μg／L  0.2 1 
鈉含量(顯大值)μg／L 0.2 1 
鈣含量(值)，μg／L 0.5 1 
鋁含量(值)，μg／L 0.5 1 
銅含量(值)，μg／L 0.1 1 
總可溶性固體含量(值)，μg／L  3 10