產(chǎn)品概述:
HFS4000系列是廣州昊儀自動(dòng)化設(shè)備有限公司采用的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感技術(shù)和智能電子控制技術(shù)，專(zhuān)為普通氣體流量監(jiān)測(cè)開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量，壓損低。適用于凈化空氣或氮?dú)饬髁勘O(jiān)控，還可用于環(huán)保監(jiān)測(cè)儀器，如空氣采樣和分析儀器9GC頻譜儀）
HFS4003流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低，壓損小，測(cè)量范圍到5SLMP，適用于粒子計(jì)數(shù)器和分析儀器等。
HFS4008流量傳感器，測(cè)量范圍到50SLPM。可用于氣流測(cè)量和控制設(shè)備。應(yīng)用于設(shè)備、潔凈氣體監(jiān)控，如：空氣采樣機(jī)，氣體分析儀等。
產(chǎn)品特點(diǎn):
- 專(zhuān)為管徑為3mm-8mm的固定氣道中的低壓氣體流量測(cè)量而設(shè)計(jì)
- 卡口式設(shè)計(jì)為多管路集成測(cè)量而設(shè)計(jì)
- 快速地響應(yīng)時(shí)間利于精密測(cè)量應(yīng)用
- 可變機(jī)械連接方式可輕松安裝于不同的應(yīng)用環(huán)境中
- 內(nèi)置安全插件可適用于更多的應(yīng)用
產(chǎn)品特點(diǎn):
通徑 3 8 mm
流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM
量程比 >100:1
精 度 ±(1.5+0.2FS) %
重復(fù)性 ±0.75 %
壓力 1.0 MPa
工作溫度 -10~55 oC
濕度 < 95 %HR
電源 8-24Vdc, 50mA
輸出方式 RS232, I2C, 模擬
機(jī)械接口 NPT, BSPT 或根據(jù)需要定制
校準(zhǔn)條件 空氣, 20oC, 101.325 kPa
| HFS4003 | HFS4008 | 單位 | |
| 通徑 | 3 | 8 | mm |
| 流量 | 2, 3, 4, 5 | 10, 20, 30, 40, 50 | SLPM |
| 量程比 | >100:1 | ||
| 精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
| 重復(fù)性 | ±0.75 | % | |
| 壓力 | 1.0 | MPa | |
| 工作溫度 | -10~55 | oC | |
| 濕度 | < 95 | %HR | |
| 電源 | 8-24Vdc, 50mA | ||
| 輸出方式 | RS232, I2C, 模擬 | ||
| 機(jī)械接口 | NPT, BSPT 或根據(jù)需要定制 | ||
| 校準(zhǔn)條件 | 二氧化碳, 20oC, 101.325 kPa | ||
廣州昊儀自動(dòng)化設(shè)備有限公司
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