- 產品品牌：
- 日本horiba
- 類型：
- 質量流量計
- 測量范圍：
- 0-200 m3/h
SEC-Z500X系列多種氣體及多種流量范圍數字式質量流量控制器
高性能高端數字式質量流量控制器
主要特性
1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地指定氣體類型及更改滿量程流量, 現場設定;
2) 超高：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速響應：< 1秒 (全量程范圍內，任意設置點);
4) 非常方便的現場設置操作;
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質量流量控制器，可以限度地減少庫存;
6) 與現有模擬式質量流量控制器完全兼容;
7) 模擬通信與數字通信(DeviceNet)可同時進行;
氣體接觸部件材料：SUS 316L不銹鋼(1sccm ~ 50slpm F.S. 類型)； SUS 316L不銹鋼，Viton(化橡膠-密封)，PTFE(聚四乙烯)，磁性不銹鋼(100 ~ 200slpm F.S. 類型)
滿量程流量
SEC-Z512KX: 1/2sccm
SEC-Z512X: 10sccm ~ 10slpm
SEC-Z522X: 22slpm ~ 50slpm
SEC-Z532K: 100slm
SEC-Z542K: 200slpm
