BY-980感應(yīng)器的測定原理

1.    比重計(jì)感測器(S.G  SENSOR): 浮波式(位能→電能)

根據(jù)藥液比重浮力, 比重減小浮力減小的原理當(dāng)藥液中銅離子含量增加或減小時(shí), 藥液的浮力也會(huì)變大或減小, 浮力的變化使重量的浮球上升或下降, 浮球的升降會(huì)發(fā)生位置變化, 當(dāng)比重設(shè)定值時(shí)浮球頂部的金屬片與金屬感應(yīng)器接觸時(shí), 感應(yīng)器將其位能變化量轉(zhuǎn)換為電訊號(hào)傳遞給控制器, 控制器根椐電訊號(hào)判斷藥液比重的大小, 進(jìn)行自來水添加來控制比重.

2. 鹽酸感測器(HCL  SENSOR): 電磁式(電能+動(dòng)能→電能)

根據(jù)電磁感應(yīng)原理: 當(dāng)電流通過感測器線圈時(shí), 會(huì)產(chǎn)生磁束(磁力線). 該磁束會(huì)依藥液中鹽酸的離子濃度而產(chǎn)生比例電流, 再將此電流變化量加以數(shù)值化, 并轉(zhuǎn)換為電訊號(hào)傳給控制器, 控制器根據(jù)電信號(hào)判斷藥液中鹽酸的離子濃度是否正常, 而進(jìn)行控制鹽酸添加.

另溫度感測器內(nèi)藏于鹽酸感測器之中, 用來檢知藥液溫度.

3. 氧化劑感測器(NaCLO3  SENSOR): 電解式(電能→電能)

● H2O2(雙氧水)之概念及測定原理

雙氧水的氧化性很強(qiáng)，在氯化亞銅氧化為氯化銅的過程中，能增加蝕刻的速度，就再生劑而言，其扮演著很重要的角色。雖然，空氣中的氧也會(huì)產(chǎn)生再生反應(yīng)，但是，一旦生產(chǎn)量增加時(shí)，氧的再生速度就來不及，所以為了蝕刻速度，作為氧化劑的雙氧水是的。雙氧水傳感器，是將雙氧水做為蝕刻液再生反應(yīng)的劑。在小需要量下，控制適當(dāng)

的蝕刻液濃度。因蝕刻速度的安定化和使用量的減少，可大幅品質(zhì)、

降。目的:即是以「如何使用小需要量的雙氧水來管理藥液品質(zhì)」作為參考量。

    基于這樣的參考量，本再生控制器并不是管理雙氧水，而是檢測出蝕刻藥液的蝕刻能力；一方面用少的雙氧水來補(bǔ)足蝕刻液中，由氧氣(O2)再生的不足部份，一方面維持蝕刻生產(chǎn)的穩(wěn)定性。

(1) 根據(jù)鹽酸的再生方式（空氣再生）

H2O2

●雙氧水傳感器的測定原理

鉑金點(diǎn)在蝕刻液中反應(yīng)時(shí)，依據(jù)藥液的濃度和蝕刻能力(蝕刻速度)會(huì)產(chǎn)生電荷量的變化。雙氧水傳感器會(huì)檢測出所發(fā)生的電荷量(出力)，并傳送到“BY-510”控制器。“BY-510”控制器再將雙氧水濃度和蝕刻速度等的相關(guān)資料入力；雙氧水傳感器所得到的出力在控制器上計(jì)算并顯示。其單位不是MOL/L(濃度)而是用MV來表示。

● 一價(jià)銅離子和二價(jià)銅離子的含量對(duì)于測定值而言會(huì)有何變化？

當(dāng)基板的銅(Cu)溶解于蝕刻藥液(CuCl2)中，二價(jià)銅會(huì)轉(zhuǎn)變?yōu)橐粌r(jià)銅。(隨著銅的溶解，電位值既ORP值會(huì)下降)。一價(jià)銅和HCl會(huì)因空氣中的O2而產(chǎn)生再生反應(yīng)。但是，生產(chǎn)量大時(shí)，空氣的O2來不及再生的部份，便需要H2O2做氧化劑。

當(dāng)一價(jià)銅一增加，ORP值就會(huì)下降，而蝕刻液中的一價(jià)銅再生為二價(jià)銅時(shí)，ORP值就會(huì)上升.

BY-980控制器的適應(yīng)環(huán)境

本沒備適應(yīng)多種氧化劑的控制;

比重：1.280-1.300

鹽酸酸度:0.8-2.5N

電電位(ORP):480-550MV

運(yùn)行中可根據(jù)實(shí)際情況作更改

蝕刻速度:0～5M/MIN

特點(diǎn)

●                 拆卸清洗容易的感應(yīng)器

●                 虹吸、空轉(zhuǎn)的添加汁量系統(tǒng)

●                 氣體揮發(fā)的人工加料口

●                 感應(yīng)靈敏液位感應(yīng)報(bào)警系統(tǒng)

●                 大可實(shí)時(shí)監(jiān)控各項(xiàng)參數(shù)

●                 設(shè)計(jì)合理的控制模式

●                 詳細(xì)的故障信息反饋系統(tǒng)

●                 大的人機(jī)介面可實(shí)時(shí)監(jiān)控各項(xiàng)參數(shù)

●                 氧化劑、鹽酸透明視窗及醒目的液位標(biāo)識(shí)