株式會社小坂（KOSAKA）昆山辦事處，小坂臺階儀ET200現(xiàn)貨供應(yīng) KOSAKA ET200基于 Windows XP操作系統(tǒng)為多種不同表面提供的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高表面形貌分析應(yīng)用。ET200 能地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。
ET200配備了各種型號探針，提供了通過程序控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色 CCD原位采集設(shè)計，可直接觀察到探針工作時的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測試區(qū)域。
產(chǎn)品特點：
二次元表面解析，可測量段差
高、高分辨率和良好的再現(xiàn)性
FPD面板顯示，可測定微細(xì)表面形狀、段差、粗度等
低測定力，可測定軟質(zhì)材料
技術(shù)參數(shù)：
型號 | ET200 | |
樣品尺寸 | φ160x48mm | |
樣品臺 | 尺寸 | φ160 |
傾斜度 | ±2°（X,Y手動） | |
承重 | 2Kg | |
檢出器 | 觸針力 | 10μN(yùn)-500μN(yùn)（1mg-50mg） |
范圍 | 600μm（0.1nm分辨率） | |
驅(qū)動 | 直動式（差動變壓器） | |
觸針 | R2μm頂角60° | |
X軸 | 測長 | 100mm |
直線度 | 0.02μm/100mm | |
速度 | 0.005-20mm/s | |
重復(fù)性 | ±5μm（定位） | |
Y軸 | 測長 | 25mm/手動 |
Z軸 | 測長 | 50mm |
放大倍數(shù) | 垂直 | |
水平 | 1-10000 | |
監(jiān)控系統(tǒng) | 攝像裝置 | 1/3 inch CCD |
裝置 | 視頻捕捉板 | |
移動方法 | 手動 | |
輔助功能 | 教學(xué)、機(jī)動傾斜、傾斜度分析、檢出器自動停止功能等 | |
應(yīng)用 | 成像、臺階、粗糙度、波紋度和傾斜度 | |
重復(fù)性 | 1σ1nm | |
電源 | AC90-240V 50/60Hz 300VA | |
外觀尺寸 | W500xD440xH630mm 120Kg（震臺） | |
主要應(yīng)用---膜厚測量
前制程機(jī)臺（如曝光機(jī)、濺鍍機(jī)、蝕刻機(jī)） recipe 找尋。例如：PVD、CVD、DLC真空濺鍍薄膜臺階、應(yīng)力測試及軟質(zhì)光阻材料等薄膜臺階測量。
