- 產(chǎn)品品牌:
- 銘動(dòng)
- 產(chǎn)品型號(hào):
- MD-PS001
- 壓力測(cè)量范圍:
- 0.7 mPa
- 類型:
- 擴(kuò)散硅壓力變送器
MD-PS001 壓力傳感器采用硅微機(jī)械加工技術(shù)制造。采用各向異性腐蝕技術(shù)和硅硅直接鍵合技術(shù)在硅片內(nèi)部形成一個(gè)長期穩(wěn)定的真空基準(zhǔn)壓力參考腔,在表面硅膜上用集成技術(shù)制作成惠斯頓應(yīng)變?nèi)珮颍捎脟H先進(jìn)的MEMS技術(shù)生產(chǎn)的1×1mm的硅壓阻傳感器芯片,從而在受力時(shí)輸出與壓力成線性關(guān)系的電壓信號(hào)。
應(yīng)用領(lǐng)域:
汽 車:TPMS,胎壓,診斷儀,氣泵,蒸汽和懸置機(jī)構(gòu)控制,絕壓傳感器。
工 業(yè):空氣壓力控制,電纜泄漏檢測(cè),便攜式壓力計(jì),壓力開關(guān)和控制器。
消費(fèi)品:手持胎壓計(jì),高度計(jì)和氣壓測(cè)定儀。
醫(yī) 療:病人監(jiān)控和診斷設(shè)備,血壓計(jì)。
科 研:空氣動(dòng)力學(xué)用微型絕壓傳感器及通用絕壓傳感器
特 征:
固態(tài)元件,三維集成MEMS工藝制造,可靠性高。
無應(yīng)力設(shè)計(jì)與制造,嚴(yán)格自補(bǔ)償濃度控制,穩(wěn)定性好。
標(biāo)準(zhǔn)壓力范圍: 0~100kpa, 0~200kpa, 0~700kpa,0~1700kpa,0~ 3400kpa。
微型尺寸1mm×1mm×0.5mm壓阻傳感技術(shù),硅/硅鍵合芯片,穩(wěn)定性好。
使用方便,適合于任何陶瓷、PCD板、TO-8、塑膠微電子封裝。
所有晶片都是以保護(hù)性的塑料容器運(yùn)輸。晶片被粘在塑料盤上,所有晶片被電子探頭和視覺檢查。
技術(shù)參數(shù):
| 小值 | 典型值 | 值 | 單位 | 備注 | ||||
| 壓力特性 | ||||||||
| 壓力量程 | 100KPa 200KPa 350KPa 700KPa 1700KPa 3500KPa 15PSI 30PSI 50PSI 100PSI 250PSI 500PSI |
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| 壓力 | 2倍 | |||||||
| 破壞壓力 | 4倍 | |||||||
| 電氣性能 | ||||||||
| 激勵(lì)電壓 | 3 | 5.0 | 12 | V | ||||
| 激勵(lì)電流 | 1 | 3 | mA | |||||
| 輸入阻抗 | 4 | 5 | 6 | KΩ | ||||
| 輸出阻抗 | 4 | 5 | 6 | KΩ | ||||
| 輸出范圍 (FS范圍) |
150KPa | 60 | 80 | 100 | mV | |||
| 700KPa | 70 | 100 | 150 | mV | ||||
| 1700KPa | 80 | 120 | 180 | mV | ||||
| 零位輸出 | -25 | 25 | mV | |||||
| 性能指標(biāo) | ||||||||
| 滿度溫度系數(shù) | -0.24 | -0.19 | -0.15 | %FS/℃ | 恒壓供電 | |||
| 零位溫度系數(shù) | -0.07 | 0.07 | %FS/℃ | |||||
| 電阻溫度系數(shù) | 0.24 | 0.27 | 0.33 | % /℃ | ||||
| 線性度 | -0.25 | 0.15 | +0.25 | %FS | ||||
| 遲滯和重復(fù)性 | ±0.10 | %FSO | ||||||
| 長期穩(wěn)定性 | ±0.20 | %FSO | ||||||
| 工作溫度 | -40 | +125 | ℃ | |||||
| 存儲(chǔ)溫度 | -55 | +150 | ℃ | |||||
| 兼容介質(zhì) | 潔凈、干燥、無腐蝕性氣體 | |||||||
| 1、所有測(cè)試值相對(duì)22℃ 1mA恒流供電 2、在0-70℃,溫度系數(shù)為典型值。 |
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