6514型靜電計具有靈活的接口性能，其電流靈敏度、電荷測量能力、分辨率和速度都我們之前的靜電計。6514內置式IEEE-488、RS-232與數字式I/O接口使它可以很容易地配置為全自動、系統，用于低電平測試。
- * <1fA 噪聲
- * 電壓測量時，輸入阻>200TΩ
- * 電荷測量范圍 10fC-20µC
- * 速度可達1200個讀數/秒
- * 簡易的用戶界面提供開關，計算機以及元件處理器
- * 主動消除電壓與電流的偏移
- 優良的電流靈敏度以及低壓負荷能力，使其適于：
- 光電二管暗電流測量
- 進入影印機碳粉內的電荷測量
- 放射劑量測量
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