測量元素:原子序號22（Ti）～83（Bi）
X射線源:空冷式小型X射線管
檢測器:比例計數(shù)管
準直器:○型： 0.1mmφ、0.2mmφ　2種
樣品觀察:CCD攝像頭（可進行廣域觀察）
對焦:激光點（自動）
濾波器：濾波器： 自動切換
樣品臺（臺式尺寸）: 500（W） x400（D） x 150（H）mm
（移動量）:X:250mm, Y:200mm
操作部:電腦、19寸液晶
測量軟件:薄膜FP法 （多5層膜、10種元素）、標準曲線法
數(shù)據(jù)處理:配備有Microsoft® Excel、Microsoft® Word
機構:樣品門連鎖、樣品的沖撞功能、儀器診斷功能

日本精工電子有限公司的子公司精工電子納米科技有限公司推出配備自動定位功能的[X射線熒光鍍層厚度測量儀SFT-110]，使操作性進一步。
　　對半導體材料、電子元器件、汽車部件等的電鍍、蒸鍍等的金屬薄膜和組成進行測量管理，可產(chǎn)品的功能及品質，降。精工從1971年次推出非接觸、短時間內(nèi)可進行高測量的X射線熒光鍍層厚度測量儀以來，已經(jīng)累計銷售6000多臺，得到了國內(nèi)外鍍層厚度、金屬薄膜測量領域的高度關注和支持。
　　為了適應日益的鍍層厚度測量需求，精工開發(fā)了配備有自動定位功能的X射線熒光鍍層厚度測量儀SFT-110。通過自動定位功能，需把樣品放置到樣品臺上，就可在數(shù)秒內(nèi)對樣品進行自動對焦。由此，無需進行以往的手動逐次對焦的操作，大大了樣品測量的操作性。
　　近年來，隨著檢測件的微小化，對微區(qū)的高測量的需求日益增多。SFT-110實現(xiàn)微區(qū)下的高靈敏度，即使在微小準直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度膜厚測量的。并且，配備有新開發(fā)的薄膜FP法軟件，即使沒有厚度標準物質也可進行多達5層10元素的多鍍層和合金膜的測量，可對應更廣泛的應用需求。

特點
即放即測！
通過自動定位功能，放置樣品后需幾秒，便能自動對準觀察樣品焦點。
　
10秒鐘完成50nm的薄金鍍層測量！
以的設計實現(xiàn)微小區(qū)域下的高靈敏度，即使在微小準直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度地膜厚測量的。

無標樣測量！
將薄膜FP軟件進一步擴充，即使沒有厚度標準物質也能進行高的測量。也可簡單地測量多鍍層膜和合金膜樣品。