產品特點：
-傳感器的點穩定度高
-全量程高穩定性
-全量程高度和優良的重復性
-低功耗
-低壓損
-響應時間快
-傳感器靈敏度高,有小的始動流量
-傳感器芯片采用熱質量流量計量,無需溫度壓力補償,了傳
-感器的高計量
-在單個芯片上實現了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大
產品簡介：
專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用微電子系統流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。的封裝技術使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器。
主要參數：
| 性能參數 | L | 單位 | |
| 通徑 | 1.0 | 1.8 | mm |
| 流量 | 30, 100, 200 | 500, 1000 | SCCM |
| 量程比 | ≥100:1 | ||
| 精度 | &plun;(1.5+0.2FS) | % | |
| 重復性 | 0.25 | %讀數 | |
| 點輸出飄移 | &plun;30 | mV | |
| 輸出飄移 | &plun;0.12 | %/oC | |
| 響應時間 | 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 | mses | |
| 工作電源 | 8~18Vdc,50mA | ||
| 輸出方式 | 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc | ||
| 流量壓損 | 350 | 300 | pa |
| 工作壓力 | 0.5 | MPa | |
| 工作溫度 | -10 ~ +55 | oC | |
| 存儲溫度 | -20 ~ +65 | oC | |
| 工作濕度 | <95%RH（無結冰、無凝露） | ||
| 機械接口 | 可拆式軟管接頭 | ||
| 校準方式 | 空氣（或其他氣體），20℃，101.325kPa | ||
| 重量 | 15 | g |
