HT2000系列空氣質量流量傳感器，該產品芯片由兩個熱偶堆和一個加熱電阻組成：熱偶堆對稱地分布在加熱電阻的上、下游；加熱電阻和熱偶堆的熱結處于一個隔熱底座上。加熱電阻對熱偶堆的熱結加熱，熱偶堆熱結和冷結之間的溫度梯度導致輸出電壓，即本征賽貝克效應。
應用領域
◆ 暖通空調和汽車工業上的質量流量
◆ 呼吸器和通風器
◆ 氣體分析儀
◆ 氣體標定
性能
◆ 對低速和微差壓十分敏感
◆ 沒有輸出信號的偏移和偏移漂移
◆ 反應速度快（小于10ms）
◆ 耐腐蝕性氣體，擦
◆ 耐振動，耐高壓（15個以上大氣壓）
◆ 信號處理電路簡單
優勢
★ 熱偶堆測溫基于組成材料的本征塞貝克效應。這種測溫方式除了具有靈敏度高，不受干擾的優點外，還不像二管和三管測溫，需要外加偏壓，因而不產生輸出信號的偏移和偏移漂移，使測量變得簡單。
★ 的隔熱底座設計不用薄膜和表面空穴。因此芯片可以承受強烈震動，耐高壓，耐腐蝕，耐流體中顆粒的沖撞和磨損。
★ 適用于氣體流體。
性能參數
參數 | 小 | 典型 | 大 | 單位 | ||||||||||||||||||||||||
流量范圍（刻度） | 1000 | sccm | ||||||||||||||||||||||||||
點漂移 | &plun;0.1 | mv | ||||||||||||||||||||||||||
輸出電壓漂移 | &plun;1 | %F.S | ||||||||||||||||||||||||||
重復性&遲滯 | 1 | %F.S | ||||||||||||||||||||||||||
加熱電流 | 6，恒電流 | mA | ||||||||||||||||||||||||||
加熱功率 | 95，恒功率 | mW | ||||||||||||||||||||||||||
加熱電阻 | 2570 | 2690 | 2810 | ohm | ||||||||||||||||||||||||
點溫漂 | 0.8 | %FS | ||||||||||||||||||||||||||
參考電阻溫度系數 | -578 | Ppm/℃ | ||||||||||||||||||||||||||
上游熱偶堆輸出（空氣，25℃） | 149 | 165 | 171 | mV | 下游熱偶堆輸出（空氣，25℃） | 149 | 165 | 171 | mV | 工作溫度 | -10 | 80 | ℃ | 反應時間 | ms | 過 壓 | ＞15（217） | Bar(psi) |
接線
1. Gnd 2.信號輸出:S+ 3.恒流源:6mA 4.信號輸出：S-
注：HT2000系列氣體質量流量傳感器正向氣流方向被定義為從P2孔流向P1孔，并導致正的輸出，不要施加過10psi的力在2個測量空孔的每個方向上。
優勢
★ 熱偶堆測溫基于組成材料的本征塞貝克效應。這種測溫方式除了具有靈敏度高，不受干擾的優點外，還不像二管和三管測溫，需要外加偏壓，因而不產生輸出信號的偏移和偏移漂移，使測量變得簡單。
★ 的隔熱底座設計不用薄膜和表面空穴。因此芯片可以承受強烈震動，耐高壓，耐腐蝕，耐流體中顆粒的沖撞和磨損。
★ 適用于氣體流體。
性能參數
參數 | 小 | 典型 | 大 | 單位 | ||||||||||||||||||||||||
流量范圍（刻度） | 1000 | sccm | ||||||||||||||||||||||||||
點漂移 | &plun;0.1 | mv | ||||||||||||||||||||||||||
輸出電壓漂移 | &plun;1 | %F.S | ||||||||||||||||||||||||||
重復性&遲滯 | 1 | %F.S | ||||||||||||||||||||||||||
加熱電流 | 6，恒電流 | mA | ||||||||||||||||||||||||||
加熱功率 | 95，恒功率 | mW | ||||||||||||||||||||||||||
加熱電阻 | 2570 | 2690 | 2810 | ohm | ||||||||||||||||||||||||
點溫漂 | 0.8 | %FS | ||||||||||||||||||||||||||
參考電阻溫度系數 | -578 | Ppm/℃ | ||||||||||||||||||||||||||
上游熱偶堆輸出（空氣，25℃） | 149 | 165 | 171 | mV | 下游熱偶堆輸出（空氣，25℃） | 149 | 165 | 171 | mV | 工作溫度 | -10 | 80 | ℃ | 反應時間 | ms | 過 壓 | ＞15（217） | Bar(psi) |
接線
1. Gnd 2.信號輸出:S+ 3.恒流源:6mA 4.信號輸出：S-
注：HT2000系列氣體質量流量傳感器正向氣流方向被定義為從P2孔流向P1孔，并導致正的輸出，不要施加過10psi的力在2個測量空孔的每個方向上。
