氣體配比器
　　特點：高控制多種氣體混合比例，實現不同氣體比要求，氣路通道：1～8路（根據客戶需求設計）。
　　詳細介紹
　　【性能參數】
　　氣體傳輸：1-8種氣體，Swagelok卡套連接
　　氣體類型：空氣、N2，O2，CO2，SO2等
　　進氣壓力：2--8bar
　　出口氣體：1--8種
　　控制閥動作型式：常閉式
　　響應時間（sec）：1S
　　工作壓差：0.05～0.5MPA
　　耐壓：3MPA
　　出口壓力：0--6bar
　　控制原理：質量流量控制，每個出口單獨控制，含溫度及濕度休整補償（由于密度和溫度的關系很大，
　　為減少誤差補償）
　　流速：0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
　　0～1，2，3，5，10，15，20，30，200SLM
　　采用溫度變化對應于質量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量量測及控制。
　　可應用在5SCCM到200SLM的氣體流量范圍，并且不會受到溫度及壓力變化的影響
　　其他流速可選擇，其他氣體可選擇
　　準確性：2%
　　保護：IP20
　　數據：輸出的數據轉換為標準狀態下的質量（1個大氣壓，0度）
　　標準狀態規定為：
　　標準溫度………………0℃（273.15K）
　　標準壓強………………101325Pa控制顯示方式：本地顯示控制
　　特性：氣體混氣
　　2，工作要求
　　2.1氣體混氣儀器應滿下工作環境要求：
　　工作電源：AC　185~265V，50Hz.
　　工作溫度：0～45℃
　　相對濕度：≤90%
　　2.2進出口連接：
　　可以用1/4'或6mm的316l（聚四氟）與氣源進行快速連接，并與采樣灌進行快速連接
　　3.特性：
　　兩元氣體混和裝置，利用多臺高MFC精密控制氣體混合比例，可以混出不同要求的氣體比
　　氣體混和不受起源壓力變化的影響
　　全耐腐蝕設計，適應氣體混合（常溫無凝結）
　　調節＋-1%，混和2%