LF400-A質(zhì)量流量控制器，氣體質(zhì)量流量控制器
我們生產(chǎn)的質(zhì)量流量控制器所使用的技術(shù)全由我們技術(shù)，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，產(chǎn)品的每一個(gè)部件都有我們自己設(shè)計(jì)制做，且以取得了多項(xiàng)技術(shù)申請(qǐng)，每一個(gè)部件我們都以精益求精的質(zhì)量報(bào)務(wù)廣大客戶，讓客戶體驗(yàn)到自動(dòng)化流量控制設(shè)備帶來(lái)的改變，為現(xiàn)有的產(chǎn)品技術(shù)升級(jí)提供基礎(chǔ)服務(wù)。
詳細(xì)介紹
我公司生產(chǎn)的氣體質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量控制器所使用的技術(shù)全由我們技術(shù)，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，產(chǎn)品的每一個(gè)部件都有我們自己設(shè)計(jì)制做，且以取得了多項(xiàng)技術(shù)申請(qǐng)，每一個(gè)部件我們都以精益求精的質(zhì)量報(bào)務(wù)廣大客戶，讓客戶體驗(yàn)到自動(dòng)化流量控制設(shè)備帶來(lái)的改變，為現(xiàn)有的產(chǎn)品技術(shù)升級(jí)提供基礎(chǔ)服務(wù)。
概要
LF400系列采用溫度變化對(duì)應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，可以對(duì)不同的氣體進(jìn)行流量測(cè)量及控制。
氣體質(zhì)量流量控制器可應(yīng)用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍，并且不會(huì)受到溫度及壓力變化的影響。
產(chǎn)品系列完整，可選擇數(shù)字式，模擬式，普通，高，高壓力型，性能且價(jià)格具有競(jìng)爭(zhēng)力，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。
特點(diǎn)
o 模擬式熱質(zhì)式流量計(jì)/流量控制器：
-環(huán)境溫度補(bǔ)正
-可應(yīng)用的流率范圍廣：
-0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
-0～1，2，3，5，10，15，20，30SLM
o 高
±1%（≤15SLM）
±1.5%（＞15SLM.）
o 可選用LF系列控制模塊，具有數(shù)位顯示、電源供應(yīng)、流量設(shè)定等功能對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器設(shè)定流，實(shí)現(xiàn)數(shù)字控制。
o 我司生產(chǎn)的氣體質(zhì)量流量控制器國(guó)際兼容
應(yīng)用
o 工業(yè)設(shè)施的氣體供應(yīng)監(jiān)測(cè)/控制。
o 氣體分析設(shè)備。
o 固定氣體質(zhì)量流量控制器。
o 同時(shí)氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用于氣體混合或分離設(shè)備
標(biāo)準(zhǔn)
氣體質(zhì)量流量控制器用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃（273.15K）
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa
輸入輸出
輸入設(shè)定電壓…………0～＋5.00V
輸出電壓檢測(cè)…………0～＋5.00V
規(guī)格（熱式）
功能
流量計(jì)/控制器
基本型號(hào)
LF400-A
滿量程流量范圍（N2）
SCCM
0～5，10，20，30，50，100，200，500
SLM
0～1，2，3，5，10，15，20，30
（％F.S）
±1（≤15SLM）
±1.5（＞15SLM.）
控制閥動(dòng)作型式
常閉式
線性（％F.S.）
±0.5～1（≤15SLM）
±1.5％（＞15SLM.）
重復(fù)（％F.S.）
±0.2
響應(yīng)時(shí)間（sec）
≤1
流量輸出信號(hào)
0-5 DCV
流量設(shè)定信號(hào)
0-5 DCV
電器接頭
DB15 pin（接頭）
工作環(huán)境溫度
（℃）
5～45
工作壓差
（MPa）
0.05～0.5
漏率
SCCSHe
1×10-9
耐壓
3MPa
介質(zhì)接觸材質(zhì)
304，316，316L
密封材料
氟橡膠，硅橡膠，橡膠，聚四氟乙烯
接頭尺寸
VCR 1/4、1/2
Swagelok1/8"、1/4"、3/8"、1/2"或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
電源要求
＋15V，50mA；-15V，200mA
我們生產(chǎn)的質(zhì)量流量控制器所使用的技術(shù)全由我們技術(shù)，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，產(chǎn)品的每一個(gè)部件都有我們自己設(shè)計(jì)制做，且以取得了多項(xiàng)技術(shù)申請(qǐng)，每一個(gè)部件我們都以精益求精的質(zhì)量報(bào)務(wù)廣大客戶，讓客戶體驗(yàn)到自動(dòng)化流量控制設(shè)備帶來(lái)的改變，為現(xiàn)有的產(chǎn)品技術(shù)升級(jí)提供基礎(chǔ)服務(wù)。
詳細(xì)介紹
我公司生產(chǎn)的氣體質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量控制器所使用的技術(shù)全由我們技術(shù)，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，產(chǎn)品的每一個(gè)部件都有我們自己設(shè)計(jì)制做，且以取得了多項(xiàng)技術(shù)申請(qǐng)，每一個(gè)部件我們都以精益求精的質(zhì)量報(bào)務(wù)廣大客戶，讓客戶體驗(yàn)到自動(dòng)化流量控制設(shè)備帶來(lái)的改變，為現(xiàn)有的產(chǎn)品技術(shù)升級(jí)提供基礎(chǔ)服務(wù)。
概要
LF400系列采用溫度變化對(duì)應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，可以對(duì)不同的氣體進(jìn)行流量測(cè)量及控制。
氣體質(zhì)量流量控制器可應(yīng)用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍，并且不會(huì)受到溫度及壓力變化的影響。
產(chǎn)品系列完整，可選擇數(shù)字式，模擬式，普通，高，高壓力型，性能且價(jià)格具有競(jìng)爭(zhēng)力，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。
特點(diǎn)
o 模擬式熱質(zhì)式流量計(jì)/流量控制器：
-環(huán)境溫度補(bǔ)正
-可應(yīng)用的流率范圍廣：
-0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
-0～1，2，3，5，10，15，20，30SLM
o 高
±1%（≤15SLM）
±1.5%（＞15SLM.）
o 可選用LF系列控制模塊，具有數(shù)位顯示、電源供應(yīng)、流量設(shè)定等功能對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器設(shè)定流，實(shí)現(xiàn)數(shù)字控制。
o 我司生產(chǎn)的氣體質(zhì)量流量控制器國(guó)際兼容
應(yīng)用
o 工業(yè)設(shè)施的氣體供應(yīng)監(jiān)測(cè)/控制。
o 氣體分析設(shè)備。
o 固定氣體質(zhì)量流量控制器。
o 同時(shí)氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用于氣體混合或分離設(shè)備
標(biāo)準(zhǔn)
氣體質(zhì)量流量控制器用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃（273.15K）
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa
輸入輸出
輸入設(shè)定電壓…………0～＋5.00V
輸出電壓檢測(cè)…………0～＋5.00V
規(guī)格（熱式）
功能
流量計(jì)/控制器
基本型號(hào)
LF400-A
滿量程流量范圍（N2）
SCCM
0～5，10，20，30，50，100，200，500
SLM
0～1，2，3，5，10，15，20，30
（％F.S）
±1（≤15SLM）
±1.5（＞15SLM.）
控制閥動(dòng)作型式
常閉式
線性（％F.S.）
±0.5～1（≤15SLM）
±1.5％（＞15SLM.）
重復(fù)（％F.S.）
±0.2
響應(yīng)時(shí)間（sec）
≤1
流量輸出信號(hào)
0-5 DCV
流量設(shè)定信號(hào)
0-5 DCV
電器接頭
DB15 pin（接頭）
工作環(huán)境溫度
（℃）
5～45
工作壓差
（MPa）
0.05～0.5
漏率
SCCSHe
1×10-9
耐壓
3MPa
介質(zhì)接觸材質(zhì)
304，316，316L
密封材料
氟橡膠，硅橡膠，橡膠，聚四氟乙烯
接頭尺寸
VCR 1/4、1/2
Swagelok1/8"、1/4"、3/8"、1/2"或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
電源要求
＋15V，50mA；-15V，200mA
其他說(shuō)明
| 功能 | 流量計(jì)/控制器 | |
| 基本型號(hào) | LF400-A | |
| 滿量程流量范圍(N 2 ) | SCCM | 0~5,10,20,30,50,100,200,500 |
| SLM | 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
| (%F.S) | &plun;1(≤15SLM) | |
| &plun;1.5(>15SLM.) | ||
| 控制閥動(dòng)作型式 | 常閉式 | |
| 線性(%F.S.) | &plun;0.5~1(≤15SLM) | |
| &plun;1.5%(>15SLM.) | ||
| 重復(fù)(%F.S.) | &plun;0.2 | |
| 響應(yīng)時(shí)間(sec) | ≤1 | |
| 流量輸出信號(hào) | 0-5 DCV | |
| 流量設(shè)定信號(hào) | 0-5 DCV | |
| 電器接頭 | DB15 pin(接頭) | |
| 工作環(huán)境溫度 | (℃) | 5~45 |
| 工作壓差 | (MPa) | 0.05~0.5 |
| 漏率 | SCCSHe | 1×10 -9 |
| 耐壓 | 3MPa | |
| 介質(zhì)接觸材質(zhì) | 304,316,316L | |
| 密封材料 | 氟橡膠,硅橡膠,橡膠,聚四氟乙烯 | |
| 接頭尺寸 | VCR 1/4,1/2 | |
| Swagelok1/8”,1/4” ,3/8” ,1/2”或φ3,φ6,φ8,φ10,φ12mm | ||
| 電源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA | |
