外形尺寸(W*D*H):760*760*950mm
X*Y*Z行程:300*200*100mm
臺面大小:500*350mm
機臺重量:200kg
臺面荷重:25kg
重現性:<0.005mm
光柵尺解析力:0.001mm
示值:4+L/150μm
放大倍數:20x-120x/30x-225x
CCD:彩色1/3"高解析480TV線
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