形尺寸(W*D*H):860*650*1120mm
X*Y*Z行程:400*300*150mm
臺面大小:600*450mm
機臺重量:350kg
臺面荷重:25kg
重現性:<0.005mm
光柵尺解析力:0.001mm
示值:3+L/200μm
放大倍數:20x-120x、30x-225x
CCD:彩色1/3"高解析520TV線
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