YUNRI光柵尺M(jìn)TS系列是由讀數(shù)頭、主尺和接口組成。玻璃光柵上均勻地刻有透光和小透光的線條,柵線為50線對/mm,其光柵柵距為0.02mm,采用四細(xì)分后便可得到分辯率為5μm的計數(shù)脈沖。一般情況卜,線條數(shù)按所測刻制,為了判別出運(yùn)動方向,線條被刻成相位上相差90°的兩路。當(dāng)讀數(shù)頭運(yùn)動時,接口電路的光電接收器分別產(chǎn)生A相和B相兩路相位相差90°的脈沖波。輸出信號再經(jīng)過數(shù)顯系統(tǒng)細(xì)分處理,分辨率是光柵周期除以信號細(xì)分?jǐn)?shù),經(jīng)過電子信號細(xì)分處理分辨率可為5um或1um




