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離子減薄儀(ION MILLING)
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離子減薄儀(ION MILLING)

產(chǎn)品價格:
電議
產(chǎn)品型號:
MU400
供應(yīng)商等級:
企業(yè)未認(rèn)證
經(jīng)營模式:
工廠
企業(yè)名稱:
上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司
所屬地區(qū):
上海市
發(fā)布時間:
2014/2/23 22:42:06

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肖先生(聯(lián)系我時,請說明是在維庫儀器儀表網(wǎng)看到的,謝謝)

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上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司

企業(yè)未認(rèn)證營業(yè)執(zhí)照未上傳

經(jīng)營模式:工廠

所在地:上海市

主營產(chǎn)品:泵及真空設(shè)備,反應(yīng)設(shè)備,教學(xué)和演示用具,光學(xué)透鏡和儀器,實(shí)驗(yàn)室器具,金剛石工具,其他儀器儀表,電子專用材料

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  該設(shè)備用于薄膜處理,性能卓越,代表性用戶如:法國科學(xué)研究中心(CNRS)、意法半導(dǎo)體(ST)
  
  系統(tǒng)簡單配置如下:
  
  Load lock
  
  真空系統(tǒng):機(jī)械泵Oil pump/Dry pump+渦輪分子泵/低溫泵/電磁泵
  
  離子:DC/RF
  
  均勻性:100 mm襯底+/-4%,刻蝕速率降低均勻性+/-2%
  
  襯底尺寸:4英寸襯底(4-12英寸可選),水冷。
  
  終端檢測系統(tǒng):SIMS 或激光干涉儀。
  
  控制方式:全自動電腦控制,半自動或手動控制可選。
  
  
  詳細(xì)信息和資料,請聯(lián)系我們!

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肖先生
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傳真:
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所在地:
上海市
類型:
工廠
地址:
上海市閔行區(qū)元江路5500號第E幢2802室

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