一.產(chǎn)品應(yīng)用
SYSC-100型勻膠機（Spin Coater），是新一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備，具有速度高，主動式速度調(diào)控、勻膠過程多段程序控制等特點。主要用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝，例如各類納米薄膜材料、光阻涂覆、生物功能涂層的制備。

二.產(chǎn)品特點
1.機身外殼采用SUS304不銹鋼制作，腐蝕、不生銹、易清潔。
2.真空室采用316L耐腐蝕不銹鋼制作，長期使用過程中膠液的侵蝕。
3.接膠盤為PP材料經(jīng)精加工制作而成，接儲脫離基片的膠液，避免進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕、可拆卸、。
4.旋轉(zhuǎn)臺采用鋁材制作，表面經(jīng)過硬質(zhì)氧化處理，耐摩擦同時避免劃傷基片底部。膠液的腐蝕。
5.勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程多可分十段進(jìn)行，每段的加速時間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)。
6.4.3英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運行狀態(tài)及各項參數(shù)實時顯示，更直觀了解勻膠進(jìn)程；
7.旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟，“預(yù)吸片時間”多為9s，基片牢固吸附于旋轉(zhuǎn)臺后再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時間”多為9s，停止后再切斷真空，釋放基片，涂膜后的基片滑落，對膜層造成損傷。
8.采用精密穩(wěn)定的直流電機及驅(qū)動器，旋轉(zhuǎn)速度采用主動控制方式，區(qū)別于老舊的被動測速控制方式，從而使旋轉(zhuǎn)速度更。
9.標(biāo)配無油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺，飛片。

三.技術(shù)參數(shù)
1.旋涂速度：400～8000 rpm
2.轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)：1rpm
3.每段加速時間：1～9 s
4.每段勻膠時間：1～9 s
5.預(yù)吸片時間：1～9 s
6.解吸片時間：1～9 s
7.鍍膜尺寸：5-100mm
8.真空泵抽氣速率：60L/min