檢測:檢測漏率
≤1×10-8mbar.l/s;
氦氣充注模式:箱外充注;
氦氣充注壓力:30bar;
氦氣回收率:≥98%。
該設備可以實現多工件充注,多工件檢漏,多工件回收,工作效率。
氦氣濃度在線分析,氦氣濃度,避免由于氦氣不穩定造成檢漏不準確。
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