氣浮平臺
　　
　　高直線電機，音圈電機氣浮平臺，多軸氣浮精密平臺，在工作中要求亞的運動，。直線電機氣浮精密運動平臺，對氣浮導(dǎo)軌設(shè)計、直線電機控制等關(guān)鍵技術(shù)進行了研究。采用有限元設(shè)計法設(shè)計了氣浮導(dǎo)軌，采用該方法設(shè)計的氣浮導(dǎo)軌具有較高的承載能力和剛度。提出一種改進的PID控制策略，從而直線電機運動平臺的干擾能力，并使其獲得較高的穩(wěn)態(tài)位置。實驗結(jié)果顯示，在采用這種控制方法后，直線電機氣浮精密平臺的定位可達亞微米，甚至是納米級的要求。
　　雙邊直線電機驅(qū)動的H　型氣浮精密定位平臺，對該精密定位系統(tǒng)的氣浮導(dǎo)軌設(shè)計方法和雙邊直線電機同步運動控制等關(guān)鍵技術(shù)進行了研究。利用有限元法設(shè)計了氣浮導(dǎo)軌，分析了氣膜壓力場的分布情況，采用預(yù)加載技術(shù)氣浮導(dǎo)軌的承載能力和剛度等性能。靜態(tài)特性，開發(fā)的定位平臺氣浮導(dǎo)軌具有較高的承載能力和剛度，設(shè)計了基于同步速度偏差的改進型并聯(lián)結(jié)構(gòu)同步控制器，采用模糊控制實現(xiàn)PID　參數(shù)的自適應(yīng)在線整定。運動，改進的控制器具有較高的同步控制，速度同步比一般同步控制了3倍多，適合于具有強機械耦合的多電機同步運動控制。H　型直線電機氣浮定位平臺具有承載能力強、高的優(yōu)點，可以用于光刻機和光學(xué)檢測等精密工程領(lǐng)域。