MYCRO掩膜對準曝光機/光刻系統的曝光方式,是采用可調節壓力的接觸式曝光,降低了光刻膠對掩模版的污染以及掩模版的磨損,從而掩模版的壽命。因此,MYCRO紫外曝光機/光刻系統以其高的性價比而讓人印象深刻。
掩膜對準曝光機/光刻系統的組件主要包含:
紫外光源構造
帶托盤的晶片工作臺
配CCD鏡頭的顯微鏡
器
掩膜夾具
紫外光源透鏡
紫外光源鏡片
紫外燈電源系統
操作控制器
350W紫外燈
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