SD系列射頻電源：適用于采用高頻單激發(fā)的等離子體化學氣相淀積設備、等離子體噴涂設備、等離子體刻蝕設備、反
應離子刻蝕機、等離子體去膠機、等離子體清洗機等感性及容性輸出負載的等離子體設備。
技術(shù)特點：
本電源采用它激振蕩，晶體穩(wěn)頻，頻率13.56KHz，采用金屬陶瓷四管功率輸出，輸出功率連續(xù)可調(diào)，具有相應的自匹配器，自動匹配網(wǎng)絡使輸出功率加到反應室，匹配范圍大，具有反射功率（Pr）保護電路，具備過載短路的能力，并能方便的讀出入射功率、反射功率。
應離子刻蝕機、等離子體去膠機、等離子體清洗機等感性及容性輸出負載的等離子體設備。
技術(shù)特點：
本電源采用它激振蕩，晶體穩(wěn)頻，頻率13.56KHz，采用金屬陶瓷四管功率輸出，輸出功率連續(xù)可調(diào)，具有相應的自匹配器，自動匹配網(wǎng)絡使輸出功率加到反應室，匹配范圍大，具有反射功率（Pr）保護電路，具備過載短路的能力，并能方便的讀出入射功率、反射功率。
