TROPEL平坦度檢測(cè)儀的特色及優(yōu)點(diǎn)：
　　•測(cè)量原理  
　　-斜角入射干涉
　　•非接觸式檢測(cè)
　　-無(wú)破壞，無(wú)污染，不變形
　　•準(zhǔn)確
　　-提供測(cè)量
　　•快速反應(yīng)3～5秒出結(jié)果
　　-允許快速顯影，進(jìn)行工藝監(jiān)控
　　
　　-在制造中如出現(xiàn)質(zhì)量問(wèn)題，可快速停止操作，不良品的出現(xiàn)
　　•靈活易操作，檢測(cè)品無(wú)
　　•快速提供的N次微觀計(jì)檢測(cè)
　　•NIST跟蹤系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn)和確認(rèn)反常信號(hào)
　　-在臨界處也能檢測(cè)數(shù)據(jù)的完整
　　•多功能用途
　　-在實(shí)驗(yàn)室或車間進(jìn)行較寬物體的平坦度檢測(cè)
　　-擴(kuò)散表面無(wú)問(wèn)題
　　-30μm動(dòng)態(tài)范圍（定單延伸范圍～100μm）
　　
　　•廣泛的應(yīng)用范圍：
　　-半導(dǎo)體行業(yè)——晶圓（Si，SiC，砷化鎵，藍(lán)寶石，氮化鎵），磁盤，光罩等；
　　-工業(yè)——燃料器（噴油嘴），滾動(dòng)軸承，離合器，密封件等；
　　•多種被測(cè)物材料
　　-陶瓷，金屬，玻璃，聚合物等
　　-經(jīng)研磨，拋光，蝕刻等過(guò)程后的部件
　　•標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量
　　-平坦度，譜線輪廓，球面半徑等。