探針座臺(tái)面規(guī)格
　　探針臺(tái)臺(tái)面平整度：5µm.
　　臺(tái)面可以同時(shí)容納4~6個(gè)探針座。
　　卡盤（載物臺(tái)）規(guī)格
　　4"卡盤，卡盤平整度：5µm，可放置樣品尺寸為4"X4"。
　　卡盤上可根據(jù)客戶要求增加信號(hào)連接接口，方便與儀器相連
　　卡盤可360度旋轉(zhuǎn)，方便點(diǎn)測(cè)時(shí)樣品在X-Y軸向上調(diào)平。
　　（注：根據(jù)客戶需要可定制為360度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào)，微調(diào)為0.1度，帶角度鎖定旋鈕）。
　　卡盤X，Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍為4"X4"，移動(dòng)為10微米，配合針座的移動(dòng)可以wafer上的die夠準(zhǔn)確點(diǎn)測(cè)到。
　　
　　顯微鏡
　　規(guī)格
　　本顯微鏡為連續(xù)變倍，變倍比為6.3：1
　　光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)，連續(xù)變焦范圍 0.8X〜5X
　　目鏡放大倍率：20X.
　　總倍率：16X-100X
　　雙目觀察傾斜45度，雙瞳距調(diào)節(jié)范圍52-75mm
　　環(huán)形白色照明光源
　　顯微鏡采用光軸固定。
　　顯微鏡在Z軸向的調(diào)節(jié)范圍為50.8mm
　　帶C MOUNT，C MOUNT是CCD接口。加上CCD后，配置一臺(tái)PC，能夠在PC的顯示器上同步觀察樣品。同時(shí)，可以用PC控制CCD進(jìn)行樣品的相片采集和錄像。
　　
　　探針座：
　　&plun;10Micron
　　牙具 50牙/寸
　　X-Y-Z線性移動(dòng)范圍 12mmX12mmX12mm
　　磁力底座/磁力翻轉(zhuǎn)底座
　　特點(diǎn)：簡易小巧，操作方便
　　
　　探針參數(shù)：
　　探針分類：軟針及硬針
　　軟針：0.2um/0.7um/1um
　　硬針：5um/10um/15um/20um
　　根據(jù)客戶使用要求，可配以針尖為5um的探針
　　探針材質(zhì)：針桿為鎳，針尖為鎢
　　美國探針，通過SEM（掃描電子顯微鏡檢測(cè)）針尖打磨光滑無鱗片狀。