采用?？怂箍导瘓F的技術；的全鋁技術，的剛性/質量比，和高；X向橫梁采用精密三角梁（Tricision）技術，相比矩形橫梁，重心更低，質量剛性比，運動更加，該技術受到保護；Y軸采用整體燕尾式導軌，在降低機器重量的同時，消除了運動扭擺，了測量和穩定性；Z向采取獲得的氣動平衡技術，采用柔性懸掛系統，避免了軸向運動和傳動系統之間的干涉問題，了測量機的和長期穩定性；三軸均采用德國HEIDENHAIN光柵尺，系統分辨率可達0.078μm，同時采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形，在溫度變化時的線性伸縮；各運動軸均采用直流伺服驅動＋增強型同步帶，運動的平穩和準確定位；采用海克斯康為Croma打造的IDC-1控制系統，21項誤差空間修正技術和自動調諧功能，了機器的動態性能和測量
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