性能參數(shù)：
　　型號(hào)　QV　Apex302PRO　QV　Apex404PRO　QV　Apex606PRO
　　QV　Apex302PRO3　QV　Apex404PRO3　QV　Apex606PRO3
　　Her　QV302PRO　Her　QV404PRO　Her　QV606PRO
　　測(cè)量范圍  X軸  300mm  400mm  600mm
　　  Y軸  200mm  400mm  650mm
　　  Z軸  200mm  250mm  250mm
　　分辨率  0.1um（0.02um）
　　高靈敏度CCD照相機(jī)  黑白（PRO3型號(hào)：彩色）
　　  E1XV  （1.5＋3L/1000）um［（0.8＋2L/1000）um］
　　  E12  （1.5＋4L/1000）um［（1.5＋2L/1000）um］
　　  E2XY  （2＋4L/1000）um［（1.4＋3L/1000）um］
　　照明
　　（PRL：可編程環(huán)形照明）  表面  LED，RGB（PRO3型號(hào)：鹵素?zé)簦?
　　  輪廓  LED，白色（PRO3型號(hào)：鹵素?zé)簦?
　　  PRL  LED，RGB（PRO3型號(hào)：鹵素?zé)簦?
　　放大倍率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)  可編程電動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)
　　工作臺(tái)玻璃尺寸  399×271mm  493×551mm  697×758mm
　　工作高度  200mm  250mm  250mm
　　臺(tái)面承重  20Kg（15Kg）  40Kg（30Kg）  50Kg（40Kg）
　　尺寸（W×D×Hmm）**  859×951×1609  1027×1407×1778  1309×1985×1799
　　重量**  360Kg  579Kg  1450Kg
　　
　　*測(cè)量在以下條件下定義，可編程電動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)：1X，物鏡設(shè)置：2.5X，L為任意兩點(diǎn)間尺寸（mm）
　　**包括機(jī)器設(shè)置臺(tái)