EMS 575T雙頭高分辨率離子濺射鍍膜儀
　　
　　EMS 575T是一款渦輪泵雙頭高分辨率鍍膜儀（噴金儀）。EMS-575T樣本放置在旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)上（the rotary stage），蓋好蓋子（the chamber lid），按下啟動(dòng)按鈕，渦輪分子泵開(kāi)始加速，5秒鐘后，機(jī)械泵開(kāi)始啟動(dòng)，同時(shí)十秒氣體排空程序啟動(dòng)，兩個(gè)泵同時(shí)運(yùn)行一個(gè)高真空。當(dāng)渦輪泵加速，它的速度由柱狀圖來(lái)標(biāo)示，到達(dá)速度的一半時(shí)，真空計(jì)扭至自動(dòng)狀態(tài)。當(dāng)腔內(nèi)氣體壓降為10-4 mbar，排氣開(kāi)始，腔內(nèi)氣壓維持在1 x 10-2 and 1 x 10-3 mbar之間，排氣的后階段，靶材按照預(yù)訂鍍膜時(shí)間開(kāi)始噴鍍。鍍膜需要兩種不同金屬的，不需要關(guān)泵，繼續(xù)濺射另一種金屬。噴鍍完成后，兩個(gè)泵停止，排氣閥排氣。
　　儀器質(zhì)保期2年。模塊化的單元結(jié)構(gòu)使得儀器維護(hù)方便，摘掉問(wèn)題模塊，換上無(wú)問(wèn)題的模塊，儀器即可很好的運(yùn)行，一點(diǎn)不會(huì)耽誤實(shí)驗(yàn)進(jìn)程。
　　
　　性能特征：
　　全自動(dòng)一鍵式操作，微處理器數(shù)字控制方式，可預(yù)設(shè)參數(shù)
　　LCD屏實(shí)時(shí)顯示狀態(tài)參數(shù)
　　質(zhì)保期：標(biāo)準(zhǔn)保修期為一年
　　高分辨率精細(xì)鍍層（不過(guò)0.5nm的鉻顆粒大小）
　　薄金屬鍍層，典型5nm厚
　　渦輪分子泵
　　Peltier冷卻雙濺射頭，無(wú)需冷卻水
　　雙濺射頭：真空條件下，可順序?yàn)R射兩種不同的材料，對(duì)于需要依次噴鍍兩種金屬的樣品適用
　　磁控濺射靶源設(shè)計(jì)
　　旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵為備用泵，機(jī)械泵為外部安裝式
　　儀器參數(shù)：
　　
　　儀器尺寸 450mm（W）x 350mm（D）x 175mm（H）
　　工作腔室硼硅酸鹽玻璃：165mm（Dia.）x 125mm（H）
　　加不銹鋼底座 110mm（Dia.）x 115mm（H）
　　重量 42Kg
　　靶材 54mm（Dia.）x 0.2mm（Thick）（標(biāo)準(zhǔn)鉻靶材和金靶材）
　　樣品臺(tái) 60mm（Dia.），以60 r.p.m 旋轉(zhuǎn)，的傾斜度
　　真空泵工作范圍（Penning）ATM to 1x10-7 mbar，鍍膜腔體限真空度10-7 mbar
　　操作真空 1x10-3 mbar to 1x10-4 mbar
　　濺射電流 0-175mA
　　濺射時(shí)間 0-4 minutes
　　功率 1000V at 100 ma，100 watts
　　沉積速率 30nm/min at 100mA
　　渦輪分子泵 60 litres/Second（Ultimate vacuum 1x10-8 mbar）
　　電源配置 230 volts 50Hz（6 AMP Max incl pump）
　　Services Argon＆shy；Nominal 4 psi
　　真空泵（推薦配件）附帶真空管和油氣過(guò)濾器