反應艙：
材料：鋁
尺寸：直徑230 x 深度250mm
容積：10.4升
艙門：裝有可視窗口
托盤：訂制
真空度測量：
皮拉尼真空計（利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來測量的，而電阻絲溫度的變化又與其周圍氣體的熱導率有關）
真空泵：
二級旋片式真空泵；3m3每小時。
頻射發生器：
0~600W可調，2.45GHz發生器
控制系統：
觸摸屏操作，PLC控制系統
PLC可實現下列功能：
1、自動控制反應過程；
2、根據處理材料設定不同的處理工藝流程；
3、測定真空泵壓力、抽真空時間、充氣速度、工作壓力、處理時間、溫度、頻射發生器輸入電壓等指標；
4、監測的運行指標，在設定范圍之內；
5、設定操作、維護。
電源：
220V AC、50Hz、16A.
反應氣體：
一個氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC）；根據用戶需要，可擴展
氣體輸入：
直徑1/4英寸（0.645厘米）管道；輸入壓力：1Bar.
性能：
急停開關；真空泵保護鎖；高溫保護鎖；CE。
用途：
小型物件的活化、清洗、蝕刻等。
可選件：
頻射發生器：100KHz，13.56MHz，可訂制
可加裝15m3每小時的真空泵
根據需要，可訂制多個氣體輸入管道
根據客戶工藝要求制作的軟件程序
根據客戶要求制作的托盤。
石英反應艙
N2 Purge
材料：鋁
尺寸：直徑230 x 深度250mm
容積：10.4升
艙門：裝有可視窗口
托盤：訂制
真空度測量：
皮拉尼真空計（利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來測量的，而電阻絲溫度的變化又與其周圍氣體的熱導率有關）
真空泵：
二級旋片式真空泵；3m3每小時。
頻射發生器：
0~600W可調，2.45GHz發生器
控制系統：
觸摸屏操作，PLC控制系統
PLC可實現下列功能：
1、自動控制反應過程；
2、根據處理材料設定不同的處理工藝流程；
3、測定真空泵壓力、抽真空時間、充氣速度、工作壓力、處理時間、溫度、頻射發生器輸入電壓等指標；
4、監測的運行指標，在設定范圍之內；
5、設定操作、維護。
電源：
220V AC、50Hz、16A.
反應氣體：
一個氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC）；根據用戶需要，可擴展
氣體輸入：
直徑1/4英寸（0.645厘米）管道；輸入壓力：1Bar.
性能：
急停開關；真空泵保護鎖；高溫保護鎖；CE。
用途：
小型物件的活化、清洗、蝕刻等。
可選件：
頻射發生器：100KHz，13.56MHz，可訂制
可加裝15m3每小時的真空泵
根據需要，可訂制多個氣體輸入管道
根據客戶工藝要求制作的軟件程序
根據客戶要求制作的托盤。
石英反應艙
N2 Purge
