TS8618光學(xué)掃描振鏡系統(tǒng)主要用于在線飛行標刻、高靜態(tài)標刻、激光調(diào)阻、激光刻線等?？蓭лd10mm、12mm標準入射光斑的各種波長的鏡片，與其相配的驅(qū)動板型號為SD-800.
　　
　　TS8618型光學(xué)掃描振鏡系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
　　（所指角度為機械角，參數(shù)測定均為一分鐘上電后）
　　
　　1.SD-800伺服驅(qū)動板參數(shù)說明：
　　1.1 電源電壓：±24V±10％（正負電壓值相等）
　　1.2 模擬信號輸入阻：200K±1％Ω（單端輸入）
　　1.3 位置信號輸出阻：1K±1％Ω
　　1.4 模擬位置信號輸入范圍：±10V／±5V（可選）
　　1.5 位置信號輸入比例系數(shù)：0.5V／°
　　1.6位置信號輸出比例系數(shù)：0.5V／°
　　1.7 工作溫度：25℃±10℃
　　1.8 驅(qū)動板尺寸：80mm（L）＊60.5mm（W）＊31mm（H）
　　
　　2.馬達的電氣與機械特性：
　　2.1 小步長階躍響應(yīng)時間：0.5ms
　　2.2 線性度：99.9％，范圍±20°
　　2.3 比例漂移：＜40PPM／℃
　　2.4 點漂移：＜10μRad.／℃
　　2.5 重復(fù)：＜10μRad.／℃
　　2.6 平均工作電流：1.5A
　　2.7 峰值電流：15A
　　2.8 掃描角度（機械角）：±21°
　　2.9 工作溫度：25℃±10℃